Katotlarımız İNOVAC MÜHENDİSLİK HİZMETLERİ

Ebat: px

Şu sayfadan göstermeyi başlat:

Download "Katotlarımız İNOVAC MÜHENDİSLİK HİZMETLERİ"

Gözde Karakuş
8 yıl önce
İzleme sayısı:

1 Telefon: Katotlarımız İNOVAC MÜHENDİSLİK HİZMETLERİ Ağaoğlu My Office 212 Kat:23 Daire:380 Mahmutbey Merkez Mah. Taşocağı Cad. TR Güneşli, Bağcılar / İSTANBUL Rev01 Telefon: Faks: E-posta: contact@inovac.com.tr

2 Katotlarımız Planer & Silindirik Katotlar Speedflo Reaktif Gaz Kontrolör & Finiş Dedektörü Lineer İyon Kaynakları Ürünlerimizle birlikte yerinde uygulama, eğitim ve ayarlama hizmeti sunuyoruz.

3 GENCOA FARKI Gencoa, beklentilerinizi aşacak kompanent ve know-how ı bünyesinde barındırmaktadır. 8 farklı tipte silindirik magnetron Silindirik magnetronda 152mm ve 75mm çap seçenekleri 10 farklı tipte planer magnetron Yerinde uygulama Reaktif gaz proses kontrolü için benzersiz PDF + algoritması In-situ ve ex-situ PEM, lambda sensörü, target voltajı Devamlı inovasyon, müşteri memnuniyeti, proses desteği, daha iyi çözümler...

planer magnetron Yerinde uygulama Reaktif gaz proses kontrolü için benzersiz PDF + algoritması In-situ ve

4 Ürünlerimizin Kullanım Alanları

5 Planer Magnetron Sizlere 10 farklı tipte planer magnetron seçeneği sunmaktayız. Tüm uygulamalar için optimize edilmiş geniş bir yelpazede manyetik seçenekler SW PP Standart, 2 kutuplu optimize dengeli manyetizma İyon yardımcı için standart, 2 kutuplu optimize dengesiz manye- HY (SW veya PP) VT FFE LP HS %45 ten fazla target kullanımı için yüksek verimli çok kutuplu SW ve SP arasında sürekli değişen VTech manyetizma Saf target ve küçük kusurlar için tam görünüş erezyonu Ferro-manyetik target sıçratma prosesi için LOOP tasarımı Düşük basınç & düşük voltaj sıçratma prosesi için yüksek güçlü RF 13,52MHz sıçratma prosesi için düşük güçlü manyetizma

kutuplu optimize dengesiz manye- HY (SW veya PP) VT FFE LP HS %45 ten fazla target kullanımı için yüksek verimli çok kutuplu SW ve SP arasında sürekli değişen

6 RF ile birlikte 40 mm (SW tip) 50 mm (SW tip) 65 mm (yalnızca PP tip) 75 mm (Vt, LOOP, SW & PP tip) 89mm (LOOP)100 mm (Vt, LOOP, SW & PP tip HY opsiyonu ile birlikte) 125 mm (Vt, LOOP, SW & HY opsiyonu ile birlikte PP tip) 150 mm (Vt, LOOP, SW & HY opsiyonu ile birlikte PP tip) 200mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip Merkezleme bileziği dahildir) 250mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip Merkezleme bileziği dahildir) 300mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip Merkezleme bileziği dahildir) Cazip fiyatlardaki standart dışı uzunlukta ürünlerimize de ulaşabilirsiniz.

200mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip Merkezleme bileziği dahildir) 250mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip Merkezleme bileziği dahildir)

7 Standart İki Kutuplu SW Manyetizma için Hedeflenen Target Erezyonu 2 Kutuplu Dengesiz PP Manyetizma %40-60 Target Kullanım Verimliliği için HY

8 %100 Kalınlık Artışı Sağlayan Metallizerfor FFE ile Target Erezyonu Manyetik Target için LOOP Kaynağı

9 VTechfully ayarlanabilir manyetik opsiyonu ile birlikte Ar-Ge merkezleri için küçük kaynaklar 30 kw RF kapasitesine kadar uyumlu montaj ünitesi opsiyonu ile birlikte özel katot tasarımı ve manyetiği Manyetik Çeşit Target Kullanımı % Uygulama SW-2 kutuplu, dengeli Genel proses için standart kaynak PP-2 kutuplu, dengesiz İyon destekli kaplama için standart kaynak VT-vtech, değişken İyon destekli manyetik güç HY-yüksek verim Gelişmiş target kullanım kaynağı LP-ferromanyetik döngü için Kalın-ferromanyetik target sıçratma MZ-metalizer Oldukça kalın metalik target FFE-tam yüzey erezyonu Reaktif modda target sıçratma AS-çift magnetron Reaktif dielektrik kaplama

için standart kaynak VT-vtech, değişken 25-40 İyon destekli manyetik güç HY-yüksek verim 40-50 Gelişmiş target kullanım kaynağı LP-ferromanyetik döngü için 25-40

10 Silindirik Magnetron 152, 100 ve 75mm olmak üzere 3 farklı silindirik magnetron formumuz mevcuttur. Manyetik alanlar, en iyi target kullanımını ve temizliğini alabilmek için optimize edilmiştir. AC çalıştırma için DLIM çeşidi 4 farklı manyetik güç mevcuttur. Proses stabilitesi için manyetik olarak aktif yardımcı anotlar. Düzenli kontrol ve reaktif sıçratma için gaz dağıtım sistemleri Tüm silindirik uygulamalar için yerinde süreç desteği ve ayarlama

AC çalıştırma için DLIM çeşidi 4 farklı manyetik güç mevcuttur.

11 AC Dual Planer RF güç modu ile birlikte tekli planer Silindirik target ömrü, planer target lardan 2-4 kat daha fazladır. Reaaktif prosesleriniz için silindirik target önermekteyiz.

12 75mm çapında target a mini tip end-blok yan montajı GenSys75 3 çapında silindirik magnetron target, planer target çıkışlarına uymaktadır. Ürünlerimiz termal stabilite özelliğine sahiptir ve bozulmaya karşı dayanıklıdır.

13 Deliksiz destek borularıyla birlikte önceden ayarlanmış geniş alan manyetizma kontrol ünitesi Proses performansınızı artırmak için gaz ünitesi seçenekleri ve manyetik olarak yönlendirilmiş anotlarımız mevcuttur.

Proses performansınızı artırmak için gaz ünitesi

14 Gencoa silindirik manyetizmalar, prosesinizi destekleyen opsiyonel anotlar ile birlikte birçok avantaj sunar. 20mm target kalınlığına kadar düşük voltaj sıçratma Target sonuna kadar target erezyonu (çökelme olmaz) Target kullanımında yüksek verim Uzun vadeli stabilite için özel paslanmaz çelik sayesinde su soğutmadan korunan manyetizma - Helyum sızıntı kontrolü Manyetizma, yükselen su sıcaklığı nedeniyle target ta manyetik güç varyasyon düşüklüğünü azaltmak için aktif bir şekilde soğutulur. Manyetizmada yüksek homojenlik sağlayan mekanik tasarım, önceden seçilmiş mıknatıs ve manyetik yönlendirme RF manyetik ünite veya manyetik alanı yönlendirme ile yüksek basınçlı çalıştırma Ultra-gaz bariyerler, cam ve web substratlar için reaktif Al 2 O 3 katmanlar. Yüksek hızlı reaktif TCO, standart seramik target bazlı uygulamalardan güneş pillerine kadar kullanılır. 4,5m uzunluğundaki güneş kolektörlerindeki reaktif silindirik çoklu bileşenli seramik katmanlarda düşük voltaj kullanımı, geniş alan kaplamasına izin verirken substratlarda plazma hasarını azaltır. DLIM, kolay reaktif gaz kontrolü, cam geçerken target voltaj sinyalinde ve PEM de düşük dalgalanma sağlama özelliği. DLIM, daha iyi homojenlik ve düşük plazma etkileşimi ve camda düşük elektrostatik yük etkileri sağlar.

soğutmadan korunan manyetizma - Helyum sızıntı kontrolü Manyetizma, yükselen su sıcaklığı nedeniyle target ta manyetik güç varyasyon düşüklüğünü azaltmak için aktif bir şekilde soğutulur.

15 REAKTİF GAZ PROSESLERİ İÇİN KONTROL ÇÖZÜMLERİ 2-5 sensör bazlı geri besleme AC güç ve DLIM manyetizmasını kullanarak stabil arc-free işlem Farklı proses ve PEM ayarları ile ayarlanabilen katman özellikleri Speedflo dünya çapındaki birçok sistemi kontrol etmektedir. Yüksek oranlarda metal içeren reaktif sıçratmada prosesi stabil tutmak oldukça zor olması sebebiyle proses kontrol kritik bir faktördür. Yerinde ayarlama veya Speedflobox a uzaktan bağlanma hizmetimiz mevcuttur.

16 Sizlere çoklu sensör kontrolü imkanı sunmaktayız, böylece daha geniş bir alana gaz dağıtabilir ve kontrol edebilirsiniz. Lambda sensörleri Sensör hızlı hareket eder ve böylece bölgeyi homojen bir şekilde kontrol eder.

17 Dikey Silindirik Sıçratma Modülleri Dikey tasarım, camdaki toz ve kusurları minimuma indirir.

18 Gencoa ile birlikte sizlere yüksek oranda oksit içeren katmanlar için birçok çözüm sunmaktayız. Size yerinde işlem uygulaması ve birçok farklı sektördeki imalat hatlarındaki 30 yıllık deneyimimizle sağlayabileceğimiz proses optimizasyonu sunuyoruz. DLIM ile sizlere üstün özellik gösteren dual silindirik magnetronlardan reaktif sıçratma imkanı sunmaktayız.

Size yerinde işlem uygulaması ve birçok farklı sektördeki imalat hatlarındaki 30 yıllık

Benzer belgeler

Kaplama Malzemelerimiz

Telefon: +90 212 500 34 18 Kaplama Malzemelerimiz İstediğiniz malzeme ve ebatta target sunuyoruz. İNOVAC MÜHENDİSLİK HİZMETLERİ Ağaoğlu My Office 212 Kat:23 Daire:380 Mahmutbey Merkez Mah. Taşocağı Cad.