MÝKROKANALLARDA TAÞINIMLA ISI GEÇÝÞÝNÝN BÝR ÝNCELEMESÝ A REVIEW OF CONVECTIVE HEAT TRANSFER IN MICROCHANNELS*

Transkript

1 MÝKROKANALLARDA TAÞINIMLA ISI GEÇÝÞÝNÝN BÝR ÝNCELEMESÝ A REVIEW OF CONVECTIVE HEAT TRANSFER IN MICROCHANNELS* C. B. SOBHAN National Institute of Technology, Calicut, India G. P. PETERSON Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, NY ÖZET Micro ölçülerdeki ýsý transferi alanýndaki analitik yöntemler ve karmaþýk ölçüm tekniklerine dair son 5 yýldaki büyük ilerleme; mikrokanal akýþýnýn anlaþýlmasýna büyük katkýda bulunmuþ ve geleneksel teorik modellerin hangi durumlarda mikrokanal akýþýndaki ýsý transfer davranýþýný doðru tahmin etmek için kullanýlabileceðini belirlemede yardýmcý olmuþtur. Burada sunulan, sürmekte olan birçok araþtýrma projesine dair tartýþmalarla birlikte son 5 yýlda konu üzerine yayýmlanan, ýsý transferi ve mikrokanal akýþýný içeren, eserlerin bir özetidir. Teorik ve deneysel çalýþmalar, hesap analizleri, daha yenilikçi modelleme tekniklerinin bazýlarýnýn tanýmý ve bunlara dair tüm önemli bulgular burada sunulmuþ, karþýlaþtýrýlmýþ ve tartýþýlmýþtýr. Anahtar Kelimeler: Mikrokanal, Minikanallar, Faz Dönüþümünde Isý Geçiþi, Basýnç Düþümü ABSTRACT The tremendous progress over the past five years in sophisticated measurement techniques and analytical methodologies in the area of microscale heat transfer have greatly added to the understanding of the phenomena unique to microchannel flow and has helped to clarify those situations where conventional theoretical models can be used to accurately describe and predict the flow and heat transfer behavior in microchannel flows. Presented here is a review of the published literature from the past five years, along with discussions of several ongoing research projects involving microchannel flow and heat transfer. Theoretical and experimental studies, computational analyses, a description of some of the more innovative instrumentation techniques, and important findings from all of these are presented, compared and discussed. Keywords: Microchannel, Minichannels, Phase Change Heat Transfer, Pressure Drop 1. Giriþ Elektronik bileþenler ve cihazlarýn termal yönetimi için mikrokanallarda akýþkan akýþý uygulamasýnda bu fikrin 25 yýl önce ilk ortaya atýlmasýndan bu yana kararlý bir ilerleme kaydedilmiþtir. Çok küçük kanallar ve tüplerdeki akýþ ve ýsý transferi davranýþýný anlama arayýþý ve bunun mikro ölçülerdeki ýsý alýcýlarý ve ýsý deðiþtiricilerinin tasarýmýnýn eniyilemesinde kullanýlmasý isteði birçok araþtýrmanýn yapýlmasýna sebep olmuþtur ve bu araþtýrma sonuçlarý bu nispeten yeni teknolojinin geliþimi için oldukça faydalý olmuþtur. Karmaþýk aletlerin kullanýlmasýndan ve güçlü hesaplama tekniklerinden yararlanarak teorik ve deneysel çalýþmalar son birkaç yýl içinde rapor edilmiþ 1. Introductýon The application of fluid flow in microchannels for thermal management of electronic components and devices has seen steady growth since the initial introduction of the idea nearly 25 years ago. The quest to understand the behavior of the flow and heat transfer in very small channels and tubes, and to utilize this understanding to optimize the design of microscale heat sinks and heat exchangers has inspired a large number of investigations, the results of which are extremely useful for the development of this relatively new technology. Theoretical and experimental studies, utilizing powerful computational techniques and sophisticated * Çeviri : Emine MUTLU, Mehmet Þ. ERCAN 10

2 ve araþtýrmacýlarýn bir dizi ilgi çekici gözlem yapmalarýna da yardýmcý olmuþtur. Mikrokanal akýþý ve ýsý transferinin tam ve kesin olarak tanýmlanmasýndan önce, faydalý ve bilgilendirici olan çok daha fazla bilgiye ihtiyaç vardýr. Son zamanlarda yapýlan teorik çalýþmalarýn çoðunun geleneksel modelleme yöntemlerinden yararlanmasýna raðmen, birkaçý analizin parçasý olarak yeni modelleme stratejilerinin tanýtýlmasýna odaklanmýþtýr. Bu teorik çalýþmalarýn çoðunun baþlýca amacý; mikrokanal akýþ analizinde geleneksel teorik yaklaþýmlarýn uygulanabilirliðinin belirlenmesi için deneysel ve sürekli ortam analizlerin karþýlaþtýrýlmasýdýr. Tabakalar arasýna girebilen duvarlarla elde edilen geleneksel ýsý ve basýnç ölçümlerinden yararlanan deneysel sofistike çalýþmalar modern mikro parçalarýn yapýlmasý teknikleri ile birleþtirildiðinde þimdiye kadar gözlemlenmemiþ bir dizi ilgi çekici olguyu açýða çýkartmýþtýr. Ayrýca; akýþý görsel olarak canlandýrma tekniklerinin kullanýldýðý bir dizi inceleme de rapor edilmiþtir. Birkaç deneysel çalýþma geleneksel davranýþtan sapmalar göstermesine raðmen, son incelemelerin çoðunluðu; özellikle karmaþýk ölçüm tekniklerinin kullanýldýðý çalýþmalar, geleneksel teorilerin mikro ölçülerde akýþ ve ýsý geçiþini doðru bir þekilde tahmin etme ve açýklamada, en azýndan belirlenen kanal karakteristik kesit ölçülerinde, kullanýlabileceði sonucunu desteklemektedir. Geçen yüzyýlýn sonlarýndan önce yayýnlanan mikrokanal birkaç yazar tarafýndan incelenmiþ, bunlardan yüzyýlýn son on yýlýnda yapýlan, farklý geometriler ve malzeme-akýþkan kombinasyonlarýyla çeþitli mikrokanal akýþ ve ýsý transferi uygulamalarýný içeren, araþtýrmalarýn çoðu özetlenmiþtir [1-6]. Son 5 yýl içinde bu alanda kayda deðer bir ilerleme saðlandýðýndan, bu alandaki en yeni bulgularý ve yayýnlanan önemli eserleri yorumlamak ve karþýlaþtýrmak çok önemlidir. Burada mikrokanallarda tek-fazlý, çift-fazlý ve gaz akýþý üzerine yayýnlanmýþ instrumentation, have been reported over the past few years, and have helped investigators make a number of interesting observations. While helpful and informative, a great deal more information is necessary before definite and conclusive quantification of microchannel flow and heat transfer can be developed. Although a majority of the recent theoretical studies have utilized conventional modeling methodologies, a few have focused on the introduction of new modeling strategies as part of the analysis. The primary aim of many of these theoretical studies was to compare the results of experimental and continuum analysis, in order to determine the applicability of conventional theoretical approaches in the analysis of microchannel flows. Sophisticated experimental studies utilizing conventional emperature and pressure measurements with intrusive sensors, when coupled with modern microfabrication techniques have revealed a number of interesting phenomena, not here- to-fore observed. In addition, a number of investigations, which have utilized flow visualization techniques have also been reported. Although a few experimental studies have reported deviations from conventional behavior, the majority of the recent investigations, particularly those that employ sophisticated measurement techniques, support the conclusion that conventional theories can typically be used to accurately predict and explain microscale flow and heat transfer, at least down to some yet to be determined dimensional limit of the channel characteristic cross-sectional dimensions. The microchannel literature published prior to the end of the last century has been reviewed by a number of authors, several of which summarized the investigations over the last decade of the century, pertaining to the various types of microchannel flow and heat transfer applications for differing geometries and substrateworking fluid combinations [1-6]. As the state-of-the-art 11

3 eserler özetleyen bir inceleme sunulmaktadýr. Ek olarak, bazýlarý çok yeni olan, mikrokanallarda akýþ ve ýsý transferini içeren hem teorik hem de deneysel çalýþmalar sunulmuþ ve tartýþýlmýþtýr. 2. Mikrokanallarda Tek-Fazlý Akýþ Son yýllarda, mikrokanallarda tek fazlý akýþkan akýþý ve ýsý transferi konusunda yapýlan deneysel ve sayýsal çalýþmalar üzerine önemli sayýda eser ortaya çýkmýþtýr. Aþaðýdaki bölümler, mikrokanallarda tek-fazlý akýþ alanýndaki önemli bulgularý özetlemektedir. 2.1 Geleneksel Modelleme Son teorik modellerin birçoðu; mikro ölçekteki alanda Navier-Stokes denklemlerinin çözümüne dayanmaktadýr ve bunlarýn birkaçý ýsý daðýlýmýnýn ve katýda olduðu gibi akýþkandaki ýsý geçiþ þekillerinin anlaþýlmasýný saðlayan üç-boyutlu sayýsal çalýþmalardýr. Uygulamanýn anahtar kullaným alanlarýndan biri elektronik soðutma olduðundan, su-silikon sistemleri çeþitli araþtýrmacýlar tarafýndan çok sýkça incelenmiþtir. Fedorov ve Viskanta [7]; birleþik akýþ çözümleri çerçevesinde sýkýþtýrýlamaz laminer Navier-Stokes denklemlerini sayýsal olarak çözerek, elektronik soðutma uygulamalarý için mikrokanal ýsý alýcýlarýnýn üçboyutlu birleþik ýsý transferi analizini sunmuþlardýr. Model, geniþ bir Reynold sayýsý aralýðýnda, ýsýl direnç ve sürtünme faktörleri için elde edilen deneysel verilere göre doðrulanmýþtýr. Bu ýsý deðiþtiricilerdeki termal basýnç etkisi ve soðutma verimliliði ile ilgili pratik öneriler de saðlanmýþtýr. Qu ve diðerleri [8]; hidrolik çaplarý m aralýðýnda deðiþen ikizkenar yamuk þeklindeki silikon mikrokanallarda akan suyun debi ve basýnç düþümünün deneysel ölçümlerini gerçekleþtirmiþlerdir. Bu incelemede, deneysel sonuçlarla teorik tahminler arasýnda belirgin bir farklýlýk gözlenmiþtir; geleneksel laminer akýþ teorisine göre tahmin edilen basýnç düþüþü ve sürtünme deðerlerinden daha yüksek deðerler görülmüþtür. Bu etkileri açýklamak için, kanallardaki yüzey 12 has progressed considerably in the last five years, it is important to review and contrast the many important publications and findings of the most recent work in this area. Presented here is such a review, summarizing the published literature on single-phase, two-phase and gas flows in microchannels. In addition, some of the more recent research involving both theoretical and experimental studies of microchannel flow and heat transfer are also presented and discussed. 2. Sýngle-phase Flow ýn Mýcrochannels A number of significant publications have appeared in the recent years on computational and experimental studies of single-phase fluid flow and heat transfer in microchannels. The following sections review the important findings in the area of singlephase flow in microchannels. 2.1 Conventional Modeling Many of the recent theoretical models are based on the solution of Navier-Stokes governing equations in the microscale domain and a few of these are threedimensional computational studies that provide insight to the temperature distributions and heat transfer patterns in the fluid as well as the substrate. As one of the key areas of application is electronics cooling, water-silicon systems have been studied most frequently by various researchers. Fedorov and Viskanta [7] presented a threedimensional conjugate heat transfer analysis of microchannel heat sinks for electronics cooling applications, by numerically solving the incompressible laminar Navier-Stokes equations within the framework of conjugate flow solutions. The model was validated against experimental data for thermal resistance and friction factors for a wide range of Reynolds numbers. Practical recommendations with respect to

4 pürüzlülüðündeki deðiþimlere dikkat çekilmiþtir. Qu ve diðerleri [9] baþka bir yayýnda, hidrolik çaplarý m aralýðýnda deðiþen ikizkenar yamuk þeklindeki silikon mikrokanallardaki su akýþý üzerine deneysel çalýþmalar sunmuþlardýr. Katý ve sývý alanlarda ýsý daðýlýmýnýn eþzamanlý belirlenmesini içeren birleþik problem için de sayýsal bir çözüm elde edilmiþtir. Teorik tahminlerle, geleneksel teknikler kullanýlarak tahmin edilen deðerlerden çok daha düþük deneysel Nusselt sayýsý sonuçlarý arasýnda kayda deðer bir fark bulunmuþtur. Pürüzlülük-viskozite etkisini hesaba katmak için, pürüzlülük -viskozite modelini temel alan, düzenlenmiþ bir iliþkinin deneysel sonuçlarý yorumlamasý hedeflenmiþtir. Bu deðiþtirilmiþ iliþki kullanýlarak yapýlan teorik tahminler ve deneysel sonuçlar arasýndaki karþýlaþtýrmanýn tipik sonuçlarý Þekil1'de görülmektedir. Kim ve diðerleri [10], ýsý transferi için hem bir hem de iki denklemli modelleri kullanarak mikrokanal ýsý alýcýlarýndaki ýsý daðýlýmý için analitik çözümler sunmuþlardýr. Darcy sayýsý ve etkin ýsýl iletkenlikteki deðiþimlerin ýsý daðýlýmýna etkisi üzerine çalýþýlmýþtýr. Richardson ve diðerleri [11]; karmaþýk serbest akýþ alaný kesitleri ile tekli baðlanan mikrokanallardaki eniyilenmiþ laminer akýþ rejiminin varlýðýný incelemek için analitik bir çalýþma yürütmüþlerdir. Amaç fonksiyonu, termodinamik bir eniyileme gerçekleþtirmek için akýþkanýn birim ýsý kapasitesi baþýna entropi oluþum oraný ile temsil edilmiþtir. Sonuçlar gösteriyor ki; amaç fonksiyonun minimum oluþu sadece düzensiz kesitleri olan çok küçük kanallarda görülebilmektedir, bu minimum deðerler nispeten zayýftýr, buda eniyilenmiþ akýþ olmasý olasýlýðýnýn nadir olduðunu göstermektedir. Ryu ve diðerleri [12,13 ], bir mikrokanal ýsý alýcýnýn üçboyutlu analizi için sayýsal hesaplamalar rapor etmiþlerdir. Sunulan analiz, Navier-Stokes ve enerji denklemlerinin sayýsal çözümüne dayanmaktadýr. Verilen bir pompa gücünde mikrokanal ýsý alýcýsý için en uygun tasarým parametrelerini belirlemek amacýyla ýsýl direnci minimuma indiren bir eniyileme çalýþmasý the cooling efficiency and the effect of thermal stresses in these heat exchangers were also provided. Qu et al. [8] performed experimental measurements of flow rate and pressure drop in water flowing through trapezoidal silicon microchannels with a range of hydraulic diameters from 51 to 169 m. In this investigation, it was observed that a significant difference between the experimental results and the theoretical predictions occurred, indicating higher values of pressure drop and friction than predicted by conventional laminar flow theory. To explain these effects, the variation in the surface roughness of the channels was highlighted. Qu et al. [9], in another publication, reported on experimental studies of the flow of water in trapezoidal silicon microchannels with hydraulic diameters ranging from 62 to 169 m. A numerical solution was also obtained for the conjugate problem involving simultaneous determination of the temperature distribution in the solid and liquid domains. A significant difference was found between the theoretical predictions and the experimental results, in which the experimental Nusselt numbers were found to be much lower than the values as predicted using conventional techniques. Based on a roughness-viscosity model, a modified relationship, designed to account for the roughness-viscosity effects was proposed to interpret the experimental results. Typical results showing the comparison between experimental results and theoretical predictions using this modified relationship are illustrated in Fig. 1. Kim et al. [10] presented analytical solutions for temperature distributions in microchannel heat sinks utilizing both one and two-equation models for the heat transfer. The effects of the variations in the Darcy number and the effective thermal conductivity, on the temperature distributions were studied. Richardson et al. [11] conducted an analytical study to investigate the existence of an optimum laminar flow regime in singly 13

5 Nusselt number, Nu Nusselt sayýsý, Nu Expenimental data Deneysel veri Modified relation Deðiþtirilmiþ iliþki Expenimental data Deneysel veri Modified relation Deðiþtirilmiþ iliþki Reynolds number, Re Reynolds sayýsý, Re Reynolds number, Re Reynolds sayýsý, Re Expenimental data Deneysel veri Modified relation Deðiþtirilmiþ iliþki Expenimental data Deneysel veri Modified relation Deðiþtirilmiþ iliþki Nusselt number, Nu Nusselt sayýsý, Nu Nusselt number, Nu Nusselt sayýsý, Nu Reynolds number, Re Reynolds sayýsý, Re Reynolds number, Re Reynolds sayýsý, Re Þekil 1. Reynolds sayýlarýnýn bir fonksiyonu olarak deneysel olarak belirlenen Nusselt sayýlarý ile deðiþtirilmiþ iliþki kullanýlarak yapýlan tahminlerin karþýlaþtýrýlmasý (a) d h=62.3 m; (b) d h=63.1 m; (c) d h=114.5 m; (d) d h=168.9 m [9]. Fig. 1. A comparison of experimentally determined Nusselt numbers as a function of Reynolds numbers with the predictions of the modified relationship (a) d h=62.3 m; (b) d h=63.1 m; (c) d h=114.5 m; (d) d h=168.9 m. [9]. gerçekleþtirilmiþtir. Eniyilenmiþ boyutlarýn ve ýsýl direncin, pompa gücüne bir güç-kuralý baðýmlýlýðý olduðu bulunmuþtur. Kanal geniþliði ve derinliðinin ýsý alýcý performansýný etkileyen en önemli parametreler olduðu görülmüþtür. Parametrik bir çalýþma yapýlarak, eniyilenmiþ boyutlarýn ve ýsýl direncin pompa gücüne bir güç-kuralý baðýmlýlýðý olduðu gösterilmiþtir. Analizlerde sonlu hacim metodu kullanýlmýþ ve pompalama connected microchannels with complex free flow area cross-sections. The objective function was represented by the entropy generation rate per unit heat capacity rate of the fluid stream, to perform a thermodynamic optimization. The results indicated that the existence of the objective function minimum can only be found for very small ducts with irregular cross-sections, and these minima are relatively weak, indicating that the possibility 14

6 gücünün eniyilenmiþ boyutlara ve ýsýl dirence etkisi Þekil 2 de gösterildiði gibi açýklanmýþtýr. of the occurrence of an optimum flow is rare. Ryu et al. [12,13] reported numerical computations for the three-dimensional analysis of a microchannel Optimal dimensions (µm) En iyilenmiþ boyutlar (µm) channel depth Kanal boyu channel width Kanal geniþliði fin thickness Kanat kalýnlýðý thermal resistance Isýl direnç Optimal thermal resistance ( C/W) En iyilenmiþ boyutlar ( C/W) heat sink. The analysis presented is based on numerical solution of the Navier-Stokes and energy equations. An optimization study was performed to determine the optimal design parameters of the microchannel heat sink that minimizes the thermal resistance for a given pumping power. The optimal dimensions and thermal resistance were found to have a power-law dependence on the pumping power. The channel width and depth were found to be the most crucial Þekil 2. Pompalama gücünün, mikrokanal ýsý alýcýsý termal performansý üzerindeki etkisi [13]. Qu ve Mudawar (14); geniþliði 57 m, derinliði 180 m ve ayrýlma mesafesi 43 m olan dikdörtgen kanallarý içeren mikrokanal ýsý alýcýlarýnýn üç-boyutlu sayýsal analizini yapmýþtýr. Üç-boyutlu Navier-Stokes ve enerji denklemlerini çözmek için SIMPLE algoritmasýna dayanan sayýsal bir yazýlým kullanýlmýþ ve sonuçlar diðer analitik çözümlemeler ve mevcut deneysel verilerle karþýlaþtýrýlmýþtýr. Sonuçlar, katý ve sývýlardaki ýsý artýþýnýn neredeyse doðrusal olduðunu göstermektedir. Isý akýsý ve Nusselt sayýsýnda çevresel bir deðiþim olduðu ve kanal giriþinde maksimum deðerler sergilediði görülmüþtür. Bunlara ek olarak, nispeten yüksek Reynolds sayýlarýnda, örneðin 1400'ün üzerinde, kanaldaki akýþýn tümünün geliþmekte olan akýþ þartlarýnýn altýnda olduðu görülmüþtür. Pumping power (W) Pompalama gücü (W) Fig. 2. Effect of the pumping power on the thermal performance of a microchannel heat sink [13]. Mikrokanal ýsý alýcýlarýnda zorlanmýþ taþýnýmýn analitik ve sayýsal çalýþmalarý Zhao ve Lu [15] tarafýndan yapýlmýþtýr. Analizde iki yaklaþýmdan yani kanatçýk ve gözenekli ortam yaklaþýmý modellerinden yararlanýlmýþtýr. Gözenekli ortam yaklaþýmýnda, basýnç için Darcy modeli ve katý ile sývý fazlar arasýndaki ýsý geçiþi parameters affecting the heat sink performance. By performing a parametric study, the optimal dimensions and thermal resistance were also shown to have a power-law dependence on the pumping power. A finite volume method was used in the analysis, and the effect of the pumping power on the optimal dimensions and thermal resistance was highlighted as shown in Fig.2. Qu and Mudawar [14] conducted a threedimensional numerical analysis of microchannel heat sinks consisting of rectangular channels with a width of 57 m, a depth of 180 m and a separation distance of 43 m. A numerical code to solve the three-dimensional governing Navier-Stokes and energy equations, based on the SIMPLE algorithm was used, and the results were compared with other analytical solutions and available experimental data. The results indicated that the temperature rise in the solid and the fluid are approximately linear. The heat flux and the Nusselt number were also shown to have a peripheral variation, and exhibited the maximum values at the channel inlet. In addition, it was noted that for relatively high Reynolds numbers i.e., in excess of 1400, the whole of the flow in the channel is under developing flow conditions. Analytical and numerical studies of forced convection in microchannel heat sinks were 15

7 için iki denklemli modeller kullanýlmýþtýr. Her iki yaklaþýmýn tahminleri toplam Nusselt sayýsýnýn en boy oranýnýn artmasýyla ve etkin ýsýl iletkenlik oranýndaki (sývý ve gözenekli ortam arasýndaki) azalma ile arttýðýný göstermiþtir. Bu iki yaklaþým kullanýlarak bulunan ýsý daðýlýmý ve Nusselt sayýsý tahminleri arasýnda büyük bir farklýlýk olduðu tespit edilmiþtir. Bunun sebepleri modellerde yapýlan kabullere dayanarak açýklanmýþtýr. Toh ve diðerleri [16], dört farklý boyutta silikon mikrokanallar boyunca akan sudaki ýsý geçiþi ve akýþkan akýþýnýn üçboyutlu analizini yapmak için Sonlu Hacim Metodunu kullanmýþtýr. Sayýsal yazýlým, yerel termal direnç için deneysel verilerle karþýlaþtýrýlarak doðrulanmýþtýr. Sonuçlar özellikle düþük Reynolds sayýlarýnda, yüksek ýsý giriþinde sürtünme direncinin azaldýðýný göstermektedir. Verilen bir ýsý giriþi için, düþük Reynolds sayýlarýnda, sürtünme kayýplarýndaki azalmanýn, sýcaklýða baðlý akýþkan viskozitesindeki azalmadan kaynaklandýðý düþünülmüþtür. Kim [17], ýsýl direnci deðerlendirmek için mikrokanal ýsý alýcýlarýnda uygulanabilen üç eniyileme yöntemini yani; kanatçýk modeli, gözenekli ortam modeli ve mikrokanal ýsý alýcýsýnýn üçboyutlu sayýsal benzetime dayandýrýlan bir eniyileme yöntemini tartýþmýþ ve özetlemiþtir. Gözenekli ortam modelinin, sayýsal benzetim sonuçlarý kýyaslandýðýnda, tek-boyutlu ýsý iletim kabulüyle kanatçýk modelinden çok daha doðru mikrokanal ýsý alýcýsý ýsýl performansýný tahmin ettiði bulunmuþtur. Nakayama ve diðerleri [18], elektronik cihazlarla birleþen mikrokanallar ile ilgili geometrik belirsizlikler üzerine tartýþmalarýný sunmuþlardýr. Geometrik belirsizlikleri içeren durumlarý deðerlendirmek için CFD benzetimine dayanan bir yöntemin yaný sýra, belirsizliklerin kaynaklarý da özetlenmiþtir. Bir model kanal tanýmlanmýþ ve yöntemi göstermek için kullanýlmýþtýr. Bu benzetimlerin sonuçlarý, bu mikrokanal soðutma performed by Zhao and Lu [15]. Two approaches, namely the fin approach and the porous medium model were utilized in the analysis. In the porous medium approach, the Darcy model for pressure and a two-equation models for heat transfer between solid and fluid phases were used. Predictions from both the approaches showed that the overall Nusselt number increased with an increase in the aspect ratio, and a decrease in the effective thermal conductivity ratio (between the fluid and the porous medium). It was found that there is a large difference between the predictions of the temperature distributions and the Nusselt numbers, using the two approaches. The reasons for this were explained in the paper, based on the assumptions made in the models. Toh et al. [16] used the Finite Volume Method to analyze the three-dimensional fluid flow and heat transfer in water flowing through silicon microchannels of four different dimensions. The numerical code was validated by comparing with experimental data for local thermal resistances. The results indicate that the frictional resistances are reduced at high heat inputs, particularly at low Reynolds numbers. The reduction of frictional losses at lower Reynolds numbers, at a given heat input, was interpreted to be due to the reduction in the temperature dependent fluid viscosity. Kim [17] discussed and summarized three optimization methods applicable to microchannel heat sinks, namely the application of a fin model, a porous medium model and an optimization method based on the three-dimensional numerical simulation of the microchannel heat sink to evaluate the thermal resistance. The porous medium model was found to predict the thermal performance of the microchannel heat sink more accurately than the fin model with a one-dimensional heat conduction assumption, when compared with the numerical simulation results. Nakayama et al. [18] presented discussions on 16

8 cihazlarýnýn birleþtirilmesinde gerekli olan ölçüyü göstermektedir. Verilen bir pompalama gücü için en uygun yükseklikteki bir kanalýn performansý ile uygun deðerde olmayan kanalýn performansýný karþýlaþtýrmak için varsayýma dayalý bir deney yapýlmýþtýr. Van Male ve diðerleri [19], asimetrik ýsýtmanýn olduðu silikon kare mikrokanal içinde metanýn laminer ve týkaç tipi akýþýnýn ýsý ve kütle geçiþ özelliklerini belirlemek için CFD benzetimlerini kullanmýþlardýr. Benzetim sonuçlarý deneylere göre onaylanmýþ ve farklý Nusselt ve Sherwood sayýlarý için karþýlýklý iliþkilerin sunulmasýnda kullanýlmýþtýr. Tchikanda ve diðerleri [20], sývý akýþýnýn ortalama hýzýný elde etmek için açýk dikdörtgen mikrokanallarda bir akýþ modeli geliþtirmiþtir. Ortalama hýz için çözümler basýnç ve kesme ile zorlanan akýþlara uygulandýðý gibi uygulanan basitleþtirilmiþ Navier-Stokes denklemleri için asimptotik ifadelere dayandýrýlmýþ ve bunlar akýþý kesme gerilmesi ve basýnç basamaðý bileþenlerine ayrýþtýran bir yaklaþýmla birleþtirilmiþtir. Çeþitli temas açýlarý, kanal en boy oranlarý ve ýslanma rejimi için hýzýn sayýsal hesaplamalarý gerçekleþtirilmiþ ve sonra uygun analitik ifadeler geliþtirmekte kullanýlmýþtýr. Min ve diðerleri [21] bir mikrokanal ýsý alýcýsýnýn açýklýðýnýn etkisini incelemek için sayýsal bir çalýþma gerçekleþtirmiþlerdir. Isý alýcýsýnýn ýsýl direncini performansýnýn bir göstergesi olarak kullanarak, verilen bir pompalama gücünde uç açýklýðýnýn eniyilenmiþ deðeri elde edilmiþtir. Deðerinin kanal eninden az olmasý koþuluyla küçük bir uç açýklýðýnýn ýsý alýcýsýnýn performansýný arttýrdýðý gözlemlenmiþtir. Kao ve Kleinstreuer [22] boyutsal analiz ve deneysel olarak onaylanan bilgisayar benzetimlerini kullanarak, farklý geometrilerin mikrokanallarýnda viskoz yayýlýmýn sýcaklýk ve sürtünme faktörü üzerinde etkilerini incelemiþlerdir. Çalýþmada çeþitli akýþkanlar (su, methanol ve isopropanol) kullanýlmýþtýr. Sonuçlar; mikrokanallar için viskoz yayýlýmýn, geometrik the geometric uncertainties associated with microchannels incorporated into electronic devices. A summary of the sources of uncertainties was presented, along with a CFD simulation based methodology to assess situations involving geometric uncertainties. A model channel was defined and was used to illustrate the methodology. The results of these simulations indicate the stringency measure required in the assembly of these microchannel cooling devices. A hypothetical experiment was reported for comparing the performance of a channel of optimal height, with that of a non-optimal channel under a given pumping power. Van Male et al. [19] used CFD simulations to determine the heat and mass transfer characteristics of laminar and plug flow of methane in a silicon square microchannel with asymmetrical heating. The simulation results were validated against experiments and used to propose correlations for different Nusselt and Sherwood numbers. Tchikanda et al. [20] developed a model of the flow in open rectangular microchannels, to obtain the mean velocity of the liquid flow. The solutions for the mean velocity were based on asymptotic expressions for the governing simplified Navier- Stokes equations as applied to pressure driven and shear driven flows, and blending together these with an approach that decomposes the flow into additive components, driven by the pressure gradient and the shear stress. Numerical computations of velocity were performed for various contact angles, channel aspect ratios and wetting regimes, and were then used to develop the appropriate analytical expressions. Min et al. [21] conducted a numerical study to investigate the influence of the tip clearance in a microchannel heat sink (the gap between the tip of the microstructures forming the microchannels and the top plate of a heat sink). Using the thermal resistance of the heat sink as an indication of its performance, an optimal value of the tip clearance was obtained for a given pumping power. It was 17

9 parametrelerin(en boy oraný ve hidrolik çap) ve iþletim parametrelerin (Re, Pr ve Ec) güçlü bir fonksiyonu olduðunu ve bu tür akýþ analizlerinin hiçbirinde göz ardý edilemez olduðunu göstermektedir. Bu çalýþmayý yüzey pürüzlülüðünün mikro tüpler ve kanallardaki ýsý transferi performansý üzerinde etkisinin analizi takip etmiþtir [23]. Yüzey pürüzlülüðü gözenekli ortam modeline (PML) dahil edilmiþtir. Yüzey pürüzlülüðünün boyutsuz sýcaklýk görüntüsü ve Nusselt sayýsý üzerindeki etkisi, gözenekli ortam tabakasýnýn ýsýl iletkenlik oraný ve Darcy sayýsý açýsýndan, araþtýrýlmýþtýr. Bu parametrelere baðlý olarak Nusselt sayýsýnýn, geleneksel teori ile tahmin edilenden daha yüksek veya düþük olabileceði gösterilmiþtir ve mikrokanallarda bu parametrelerin etkisinden mikrotüplerde olduðundan daha çok bahsedilmektedir. Kao ve Kleinstreuer [24] ayrýca mikrokanal ýsý alýcýlarýndaki nanoakýþkanlarýn (küçük hacimsel kesirli bakýr oksit nanoküreli su ve etilen glikol) akýþýnýn analizini ve bir benzetimini de sunmuþlardýr. Bu modelde akýþkanlarýn etkin ýsýl iletkenliði ve dinamik viskoziteleri için parçacýk Brownian hareketi etkisini içeren yeni modeller kullanýlmýþtýr. En boy oranýnýn yaný sýra nanosývý konsantrasyonu parametre olarak kullanýlarak analizler yapýlmýþtýr. Yüksek en boy oranýna sahip mikrokanallarda, yaklaþýk %4 hacim yoðunluðunda, büyük Prandtl sayýlý, daha yüksek ýsýl iletkenlik oranlý nanoparçacýklarý olan taþýyýcý akýþkanlarda, örneðin parçacýðýn iletkenliði taþýyýcý akýþkana göre daha yüksekse, performans artýþý rapor edilmiþtir. Bu araþtýrmada, duvarlarda nanoparçacýk birikimi olmadýðý düþünülmüþtür. Horiuchi ve Dutta [25], iki boyutlu bir mikrokanaldaki electro-ozmotik akýþ problemine, çok küçük elektrik çift tabaka teorisini temel alarak, düzenlenmiþ Navier-Stokes denklemini ve normalleþtirilmiþ enerji denklemini çözmek için deðiþkenlere ayýrma metodunu kullanarak, analitik bir çözüm getirmiþlerdir. Çalýþmada sabit yüzey observed that the presence of a small tip clearance can improve the performance of the heat sink, provided that its value is less than the channel width. Koo and Kleinstreuer [22] investigated the effects of viscous dissipation on the temperature and friction factor in microconduits of different geometries using dimensional analysis and experimentally validated computer simulations. Various working fluids (water, methanol and isopropanol) were considered in the study. The results indicated that viscous dissipation is a strong function of the geometric parameters (aspect ratio and hydraulic diameter) and the operational parameters (Re, Pr and Ec) for micro-conduits, and cannot be ignored in any analysis of this type of flow. This work was followed by an analysis of the effect of the surface roughness on the heat transfer performance of micro tubes and channels [23]. The surface roughness was incorporated in a porous medium layer (PML) model. The surface roughness effects, in terms of the thermal conductivity ratio of the porous medium layer and the Darcy number, on the dimensionless temperature profile and the Nusselt number were investigated. It was shown that, depending on these parameters, the Nusselt number could be higher or lower than predicted by conventional theory, and that the influence of these parameters, was more pronounced in microchannels than in microtubes. Koo and Kleinstreuer [24] also presented a simulation and analysis of the flow of nanofluids (water and ethylene glycol with small volume fractions of copper oxide nanospheres) in microchannel heat sinks. New models for the effective thermal conductivity and dynamic viscosity of these fluids, which includes the effect of particle Brownian motion were used in this model. The analysis was performed using the concentration of the nanofluid as a parameter, along with the aspect ratio. Performance enhancement was reported for large Prandtl number carrier fluids, in which nanoparticles with higher thermal conductivity ratios, i.e., the conductivity of the particle was high with respect to the carrier fluid, 18

10 ýsý akýsý ve sabit yüzey sýcaklýðý durumlarý göz önünde bulundurulmuþ ve analiz eylemsizlik, yayýlma ve Joule ýsýtma terimlerinin hepsini içermiþtir. Isý geçiþi özellikleri, viskoz ve elektriksel alan terimlerinin baskýn olduðu düþük Re rejimi için gösterilmiþtir. Nusselt sayýsýnýn kanalýn termal giriþ bölgesi dýþýnda Peclet sayýsýndan baðýmsýz olduðu anlaþýlmýþtýr. Analitik sonuçlar, basýlý belgelerde var olan mevcut ýsý geçiþi sonuçlarý ile örtüþmüþtür. Azimian ve Sefid [26], mikrokanallarda Newtonyen ve Newtonyen olmayan sývýlarýn akýþýnýn üç-boyutlu sayýsal analiz sonuçlarýný sunmuþlardýr. Üç-boyutlu Navier-Stokes denklemleri, SIMPLE algoritmasýyla, Sonlu Farklar Modeli kullanýlarak çözülmüþtür. Newtonyen olmayan akýþkanlarýn kullanýlmasý halinde çalýþmak için; bir güç-kuralý aracýlýðýyla kesme gerilmesi uygulanan denklemlere dahil edilmiþtir. Kesmeyle incelen akýþkanlar için basýnç düþümünün önemli ölçüde azaldýðý ve Nusselt sayýsýnýn arttýðý görülmüþtür. Kesmeyle koyulaþan akýþkanlar için de bu durumun tesri geçerlidir. Basýnç düþümü, termal giriþ uzunluðu ve Nusselt sayýsýnýn deðiþimleri hesaplamalarda kabul edilen güç-kanunlarý indeksinin bazý deðerleri için sunulmuþtur. Morini [27], mikrokanallarda ýsý geçiþi ve basýnç düþümü üzerine var olan deneysel sonuçlarýn bir analizini sunmuþ ve bunlarý geleneksel dairesel olmayan kanallar için Obot-Jones modeliyle karþýlaþtýrmýþtýr. Sonuçlar; hidrolik çaplarý 1mm den küçük olan kanallardaki davranýþý doðru olarak tahmin edebilmek için geleneksel teorinin gözden geçirilmesi gerektiðini göstermiþtir. Ayrýca, mikrokanallardaki akýþ geçiþinin, geleneksel kanallarda olmasý beklenenden daha küçük Reynolds sayýlarýnda meydana geldiði görülmüþtür. Maynes ve Webb [28,29]; kanalýn uzunluðu boyunca bir voltaj farký yaratarak, mikrokanallarda tam geliþmiþ, elektro-ozmotik olarak zorlanmýþ akýþý analiz etmiþlerdir. Mikrokanallarda basýnç ve elektro-ozmotik ile birlikte at volume concentrations of approximately 4%, in microchannels with high aspect ratios. In this investigation, the walls were treated to avoid nanoparticle accumulation. Horiuchi and Dutta [25] obtained an analytical solution to the problem of electro- osmotic flow in a twodimensional microchannels, based on an infinitesimal electric double layer theory, using a separation of variable technique for solving the modified Navier-Stokes equation and the normalized energy equation. Constant surface heat flux and constant surface temperature cases were considered in the study, and the inertial, diffusive and Joule heating terms were all included in the analysis. Heat transfer characteristics were presented for the low Re regime, where the viscous and electric field terms are dominant. It was found that the Nusselt number is independent of the Peclet number, except in the thermally developing region of the channel. The analytical results showed very good agreement with the existing heat transfer results available in the literature. Azimian and Sefid [26] reported results of a threedimensional computational analysis of the flow of Newtonian and non-newtonian fluids in microchannels. The three-dimensional Navier-Stokes equations were solved using a Finite Difference Models, with the use of the SIMPLE algorithm. The shear stress was incorporated in the governing equations through a power law, in order to study the potential of using a non- Newtonian fluids. It was found that the pressure drop was significantly reduced and the Nusselt number was increased for shear thinning fluids. The reverse was true for shear thickening fluids. Variations of the pressure drop, thermal entrance length and Nusselt numbers were presented for various values of the power law index assumed in the computation. Morini [27] presented an analysis of existing experimental results of heat transfer and pressure drops in microchanels and validated these against the Obot- Jones model for conventional non-circular channels. The results indicated that the conventional theory 19

11 zorlanmýþ akýþ için sabit duvar sýcaklýðý ve sabit duvar ýsý akýsý sýnýr þartlarýyla analitik çözümler elde edilmiþtir. Tam geliþmiþ boyutsuz sýcaklýk basamaðý ve Nusselt sayýsýnýn tam çözümlerinin göreceli kanal yarýçapýna baðlý olduðu bulunmuþtur. Tam geliþmiþ Nusselt sayýsýnýn, kanal yarýçapýnýn Debye uzunluðuna oranýna, debye uzunluðuna boyutsuz hacimsel kaynaðý ve iki zorlayýcý kuvvet olan basýnç ve elektro-ozmotik kuvvetlerin göreceli güçlerini karakterize eden bir boyutsuz parametreye baðlý olduðu bulunmuþtur. Maynes ve Webb [30] ayrýca; akýþýn tüp uzunluðu boyunca oluþturulan voltaj farký ile saðlandýðý, ýsýl olarak tam geliþmiþ, elektro-ozmotik zorlanmýþ akýþlar üzerinde viskoz yayýlýmýn etkisini incelemek için teorik çalýþmalar sunmuþlardýr. Sýcaklýk daðýlýmýný ve Nusselt sayýsýný elde etmek için sayýsal olarak çözülen enerji denkleminde, tam geliþmiþ elektro-ozmotik zorlanmýþ akýþ için hýz daðýlýmý kullanýlmýþtýr. Sabit duvar sýcaklýðý ve sabit ýsý akýsý sýnýr koþullarý için paralel levha mikrokanallarda ve dairesel mikrotüplerdeki akýþ incelenmiþtir. Viskoz yayýlým etkisinin yalnýzca; göreceli kanal yarýçapýnýn, Debye uzunluðuyla karakterize edilen elektrik çift tabaka (EDL) kalýnlýðýna göre düþük olduðu deðerlerde, önemli olduðu bulunmuþtur ve pratikte elektro-ozmotik zorlanmýþ akýþ uygulamalarýnýn çoðunda etkisi ihmal edilmektedir. Ng ve Tan [31]; elektrik çift tabaka etkisini tanýtarak mikrokanallardaki geliþmekte olan akýþ için üç-boyutlu sayýsal bir modelin sonlu hacim çözümlerini tanýmlamýþlardýr. Model elektrik potansiyel daðýlýmýný benzetmek için Navier-Stokes denklemlerine ve Poisson- Boltzmann denklemini temel almýþtýr. Farklý Reynolds sayýlarý ve elektrik potansiyeli altýnda mikrokanallardaki performanslarýn karþýlaþtýrmalarý sunulmuþtur. Bunlardan da EDL etkisinin mikrokanallardaki akýþýn etkinliðini azaltabildiði sonucuna varýlmýþtýr. Tardu[32]; EDL etkisi altýndaki kanal akýþý için iki boyutlu denklemlerin needed to be revised to accurately predict the behavior in channels with hydraulic diameters smaller than 1 mm. It was also observed that flow transition in mirochannels took place at smaller Reynolds numbers than expected in conventional channels. Maynes and Webb [28, 29] analyzed the fully developed electro-osmotically driven flow in microchannels, imposed by a voltage gradient along the length of the channel. Analytical solutions with constant wall heat flux and constant wall temperature boundary conditions, for combined pressure and electro-osmotically driven flows in microchannels were obtained. Exact solutions of the fully developed dimensionless temperature gradient and Nusselt number were found to depend on the relative duct radius. The fully developed Nusselt number was found to depend on the duct radius to Debye length ratio, the dimensionless volumetric source and a dimensionless parameter that characterizes the relative strengths of the two driving mechanisms the pressure and the electro-osmotic forces. Maynes and Webb [30] also reported theoretical studies to investigate the effect of viscous dissipation on thermally fully developed electro- osmotically driven flows, where the flow is established due to an imposed votage (potential) gradient along the length of the tube. The velocity distribution for the fully developed electro-osmotically driven flow was used in the energy equation, which was solved numerically to obtain the temperature distribution and the Nusselt number. Flow in parallel plate microchannels and circular microtubes were studied, for constant wall temperature and constant heat flux boundary conditions. It was found that the effect of the viscous dissipation is significant only for low values of the relative duct radius with respect to the thickness of the electric double layer (EDL) characterized by the Debye length, and the effect is negligible in most of the practical applications of electro- osmotically driven flows. Ng and Tan [31] described finite volume solutions of a three- dimensional numerical model for developing flow in microchannels, introducing the electric double layer effect. The model was based on Navier-Stokes 20

12 parametrik bir incelemesini yaparak elektrik çift tabakanýn mikrokanal akýþýnýn kararlýlýðý üzerindeki etkisinin bir analizini sunmuþtur. EDL kalýn olduðunda kararsýzlýk mekanizmasýnýn mikrokanallarda baskýn olduðu görülmüþtür. Chen ve diðerleri [33]; mikrokanallarda elektrokinetik etkiler ile hidrodinamik olarak ve ýsýl olarak geliþmekte olan sývý akýþý üzerine sayýsal bir çalýþma sunmuþlardýr. Deðiþtirilmiþ Navier- Stokes denklemleri ve Poisson denklemi potansiyel elektrik daðýlýmýný tanýmlamak için kullanýlarak EDL nin iki paralel tabaka arasýndaki akýþ ve ýsý geçiþi üzerindeki etkileri de göz önünde bulundurulmuþtur. Çözüm SIMPLER algoritmasýyla Sonlu Hacim yaklaþýmýnýn kullanýlmasýyla elde edilmiþtir (Patankar, 1980). Sürtünme faktörü ve Nusselt sayýsýnýn elektrikli çift tabaka etkisi tarafýndan büyük ölçüde etkilendiði bulunmuþtur. 2.2 Geleneksel Olmayan Modelleme Yöntemleri Geleneksel olmayan modelleme yöntemleri ve felsefeleri de mikrokanal akýþýnýn analizlerinde kullanýlmýþtýr. Bunlar, problemin matematiksel olarak modellenmesi için Navier-Stokes denklemlerine dayanmamýþtýr. Chen ve Cheng [34]; elektronik yongalarýn mikrokanal soðutmalarýnda uygulanan ve biyolojik dolaþýmla ve solunumla ilgili þebekelerden esinlenilen, aða benzer yeni bir dallanma aðacý tasarýmýný tartýþmýþlar ve tanýtmýþlardýr. Bu dallanmýþ mikrokanal aðlarýndaki ýsý geçiþi ve sývý akýþ davranýþýný incelemek için analizler yapýlmýþtýr. Bu aðlarýn; geleneksel paralel mikrokanal aðlarý ile karþýlaþtýrýldýðýnda daha düþük pompalama gücü ve daha iyi bir ýsý geçiþ kapasitesi olduðu sonucuna varýlmýþtýr. Li ve Kwok [35]; mikrokanaldaki, elektrokinetik akýþ olarak adlandýrýlan, bir elektrolitik çözeltinin akýþýný tarif etmek için Kafes-Boltzmann modeli sunmuþlardýr. Bu model, bu sýnýftaki akýþ problemlerinin çözümleri için deðiþtirilmiþ Navier-Stokes denklemi kullanýmýndaki zorluklarý dengeler ve bir Poisson-Boltzmann denklemine equations and the Poisson-Boltzmann equation to simulate the electric potential distribution. Comparisons of the performance of the microchannels under different conditions of Reynolds number and electric potentials were presented. It was concluded that the EDL effect could decrease the effectiveness in microchannel flows. Tardu [32] presented an analysis of the effect of the electric double layer on the stability of the microchannel flow, by performing a parametric study of the twodimensional governing equations for channel flow under the EDL effect. It was found that when the EDL is thick, the inviscid instability mechanism becomes dominant in microchannels. Chen et al. [33] presented a numerical study of the hydrodynamically and thermally developing flow of a liquid in microchannels, with electrokinetic effects. The effects of EDL on flow and heat transfer between two parallel plates was considered, using the modified Navier-Stokes equations, and the Poisson equation to describe the electrical potential distribution. Solution was obtained using a Finite Volume approach, with the SIMPLER algorithm (Patankar, 1980). It was found that the friction factor and Nusselt number were greatly influenced by the effect of the electrical double layer effects. 2.2 Non-Conventional Modeling Methods Non-conventional modeling methods and philosophies in the analysis of microchannel flows were also introduced. These did not depend on the Navier-Stokes equations for the mathematical modeling of the problem. Chen and Cheng [34] presented and discussed a new design of fractal tree like network applied to microchannel cooling of electronic chips, inspired from biological circulatory and respiratory networks. Analysis was performed to study the heat transfer and fluid flow behavior in these fractal microchannel nets. It was concluded that these networks have a better heat transfer capability and lower pumping power, compared to traditional parallel nets of microchannels. Li and Kwok [35] presented a Lattice-Boltzmann model to describe the flow of an electrolytic solution in a 21

13 dayanýr. Basýnçla zorlanmýþ mikrokanal akýþýnýn elektrolit çözeltiler için elde edilen sonuçlarýn, deneysel sonuçlara mükemmel bir uyum gösterdiði bulunmuþtur. Bu çalýþmanýn en önemli sonuçlarý, basýnç düþümü ile Reynolds sayýlarýnýn karþýlaþtýrmalarý olarak sunulmuþtur. 2.3 Deneysel Çalýþmalar Mikrokanallarýn kullanýmý ve ölçme metotlarýnda olduðu gibi üretim ve deneysel olanaklar konusunda da son beþ yýlda önemli geliþme kaydedilmiþtir. MEMS teknolojisinin ilerlemesi ile mikrokanallarýn iç duvarlarýndaki uygun yerdeki ölçümleri elde etmek için, sondalar ve duyarlar etkin þekilde malzeme içine ve tek kanallara dahil edilebilir. Bu, basýlmýþ eserlerde rapor edilmiþ ve temelde dýþ ölçülere dayandýrýlan önceki deneylerle karþýlaþtýrýldýðýnda mikrokanal akýmlarýnýn daha doðru gözlemlerinin elde edilmesi ile sonuçlanmýþtýr. Son zamanlarda rapor edilen deneysel sonuçlarýn çoðunluðu kanallardaki ölçülmüþ giriþ ve çýkýþ basýnç kayýplarý ve tek kanallarda ölçülmüþ özgün verilerle birlikte dikkatle imal edilmiþ test ünitelerinden yararlanmýþtýr. Bu yaklaþým, mikrokanallarýn performansýný netleþtiren yeni bilgilerle sonuçlanmýþtýr ve pratikte kullanýlan kesit þekilleri ve boyutlarý olan mikrokanallarýn davranýþýný tahmin etmek için geleneksel analizlerin kullanýmýný desteklemektedir. Wu ve Cheng [36] in deneyleri, en boy oranýnýn sürtünme faktörünü önemli ölçüde etkilediði sonucunu ortaya çýkarmýþtýr m arasýnda deðiþen hidrolik çaplý ikizkenar yamuk þeklinde mikrokanallar incelenmiþtir. Elde edilen deneysel veriler kullanýlarak, tam geliþmiþ laminer akýþtaki sürtünme faktörü için en boy oranýnýn bir fonksiyonu olarak aþaðýdaki ilgileþim geliþtirilmiþtir. W b f Re= exp 2.67 (1) Wt Þekil 3'te gösterildiði gibi, tam geliþmiþ laminer akýþ için, deneysel veriler ile Ma ve Peterson [37] tarafýndan geliþtirilen analitik çözümün iliþkili olduðu görülmüþtür; bu da 25.9 m gibi düþük hidrolik çaplý mikrokanallarda microchannel, which is termed electrokinetic flow. This model compensates for the difficulties in the use of modified Navier-Stokes equation for the solution of this class of flow problems, and is based on a Poisson- Boltzmann equation. The results were found to be in excellent agreement with experimental results for pressure driven microchannel flow of electrolyte solutions. The most significant results of this work were presented as comparisons of the pressure drops and the Reynolds number of the flow. 2.3 Experimental Studies Fabrication and experimental facilities, as well as measurement methods and instrumentation for microchannels have progressed considerably in the past few years. With the advent of MEMS technology, probes and sensors can be effectively incorporated into the substrate and individual channels, to obtain in-situ measurements at the inner wall of the microchannels. This has resulted in more accurate observations of microchannel flows, when compared to the early experiments reported in literature, which were primarily based on external measurements. A majority of the experimental results reported recently have utilized carefully fabricated test specimens, coupled with measured entrance and exit pressure losses in channels, and specific data measured on the inside of individual channels. This approach has resulted in new information, which clarifies the performance of microchannels, and supports the use of conventional analyses for estimating the behavior for microchannels with practical cross-sectional dimensions and shapes. The experiments of Wu and Cheng [36], concluded that the aspect ratio has a significant influence of the friction factor. Trapezoidal microchannels of hydraulic diameter ranging from m were investigated. Using the resulting experimental data, a correlation for the friction factor in fully developed laminar flow was developed as a function of the aspect ratio as follows: W b f Re= exp 2.67 (1) Wt 22

14 Þekil 3. Navier-Stokes denklemlerinin geçerli olduðunu göstermektedir. Analiz edilen daha geniþ kanallarda, türbülanslý akýþa geçiþin Reynolds sayýsýnýn olduðu aralýkta gerçekleþtiði gözlenmiþtir. Cheng ve Wu [38], ikizkenar yamuk þeklindeki mikrokanallarda akan su için laminer taþýnýmla ýsý geçiþi ve basýnç düþüþü ile ilgili sonraki deneysel çalýþmalarda, Nusselt sayýsý deðerinin ve görünür sürtünme faktörünün bir dizi geometrik parametreye baðlý olduðunu ve hem yüzey pürüzlülüðü ile hem de yüzey ýslatma özelliði ile arttýðýný belirtmiþlerdir. Bu artýþýn daha büyük Reynolds sayýlarýnda daha belirgin olduðu görülmüþtür. Geometrik boyutlar, yüzey pürüzlülüðü ve hidrofilik özelliklerin hepsi bilindiðinde, ikizkenar yamuk þeklindeki mikrokanallardaki su akýþý için, Nusselt sayýsý ve görünür sürtünme faktörü için sürekli olan boyutsuz ilgileþimler elde edilmiþtir. experimental data Deneysel veriler fre = exp (2.67 W b/w t) fre = 16 W/W b t Tam geliþmiþ laminer akýþ için deneysel verilerle ilgileþim denkleminin [36] karþýlaþtýrýlmasý. Fig. 3. Comparison of experimental data with correlation equation [36] for fully developed laminar flow. Garimella ve Singhal [39], elektronik soðutma uygulamalarý için pompalama kabiliyeti ve pompalama gücünün eniyilenmesi üzerine odaklanarak mikrokanallardaki sývý akýþý üzerine deneysel sonuçlar sunmuþlar ve tartýþmýþlardýr. Deneysel veriler, geleneksel ilgileþimlerin, 250 m kadar küçük hidrolik çaplý As shown in Fig. 3, the experimental data were found to correlate well with the analytical solution developed by Ma and Peterson [37], for fully developed laminar flow, indicating that Navier-Stokes equations are valid in microchannels of hydraulic diameters as low as 25.9 m. In the larger channels analyzed, transition to turbulent flow was observed at Reynolds numbers in the range Cheng and Wu [38], in subsequent experimental studies of laminar convective heat transfer and pressure drop for water flowing in trapezoidal microchannels, indicated that the value of the Nusselt number and the apparent friction factor were dependent on a number of geometric parameters, increasing with both the surface roughness and the surface hydrophilic property. This increase was found to be more significant at larger Reynolds numbers. Dimensionless correlations were obtained for the Nusselt number and the apparent friction constant for the flow of water in trapezoidal microchannels, when the geometric dimensions, surface roughness and hydrophilic properties were all known. Garimella and Singhal [39] presented experimental results and discussed the fluid flow in microchannels, focusing on the pumping capabilities and pumping power optimization for electronics cooling applications. The experimental data indicated that the conventional correlations can be used to accurately predict the fluid flow and heat transfer performance of microchannel flows, in channels with hydraulic diameters as small as 250 m. Based on an analysis of the pumping requirements of microchannel heat sinks, the microchannel size was optimized to minimumize the pumping power. Flow visualization results for laminar, transition and turbulent flow in microchannels were also presented. Liu and Garimella [40] presented experimental and numerical investigations for deionized water flowing in rectangular microchannels fabricated in plexiglass, in order to allow optical access 23

15 kanallardaki mikrokanal akýmýnýn ýsý geçiþi ve akýþkan performansýný doðru þekilde tahmin edebilmek için kullanýlabileceklerini göstermiþtir. Mikrokanal ýsý alýcýlarýnýn pompalama gereksinimlerinin analizine dayanarak, pompalama gücünü minimuma indirmek için mikrokanal büyüklüðü eniyilenmiþtir. Mikrokanallardaki laminer, geçiþ ve türbülanslý akýþ için akým görselleþtirme sonuçlarý da sunulmuþtur. Liu ve Garimella (40), pleksiglastan yapýlan dikdörtgen þeklindeki mikrokanallarda akan deiyonize su ile akým görselleþtirme çalýþmalarýna optik eriþimi saðlamak için deneyler ve sayýsal incelemeler yapmýþlardýr. Deðerlendirilen mikrokanallarýn hidrolik çaplarý m arasýnda deðiþmektedir. Kararsýzlýða sebep olabilecek dýþ düzensizliklerden kaçýnmak için, azot gazý bulunan bir rezervuar yardýmýyla gaz basýncýyla zorlanan bir akýþ kullanýlmýþtýr. Daha uzun kanallarda; giriþ-çýkýþ etkilerinden kaçýnmak ve ölçülen deðerlerin zýt yönde etkilenmemesi için giriþ ve çýkýþ bölgelerine uzak konumlarda basýnç azalmasý ölçülmüþtür. Kýsa kanallar için, giriþ çýkýþ bölümlerinde basýnç ölçümleri yapýlmýþ, kanallardaki basýnç düþüþünü belirlemek için giriþ ve çýkýþ kayýplarý önceden tahmin edilmiþ ve hesaplamalara dahil edilmiþtir. Laminer ve türbülanslý rejimlerdeki sürtünme faktörleri belirlenmiþ ve deneysel sonuçlar sonlu hacim metodunu temel alan bir CFD yazýlým paketi kullanýlarak yapýlan benzetimlerle karþýlaþtýrýlmýþtýr. Yaklaþýk 2000 deðerindeki bir Reynolds sayýsýna kadar mikrokanallardaki akým özelliklerinin geleneksel teorilerle doðru þekilde tahmin edilebildiði görülmüþtür. Türbülansa geçiþin baþlangýcý canlandýrýlmýþ ve tam geliþmiþ türbülanslý akýþýn geliþiminin bir þekilde mikrokanallarda geciktiði gözlemlenmiþtir. Çalýþmalar; küçültülmüþ mikrokanal büyüklüðünün türbülans oluþumunda kayda deðer bir etkisi olabileceðini göstermiþtir. Lee ve diðerleri [41], eni 194 m'den 534 m ye deðiþen, geniþliðin derinliðe oraný 5 olacak þekilde neredeyse sabit tutulan bakýr mikrokanallarda deiyonize suyun tek faz akýþý üzerine deneysel sonuçlar sunmuþlardýr. Bu deneyler laminer akýþý kapsamaktadýr ve türbülanslý akýþ for flow visualization studies. The hydraulic diameters of the microchannels evaluated were in the range 250 to 1000 m. In order to avoid external perturbations which can cause instabilities, a gas-pressure driven flow was used, with the help of a reservoir pressurized with nitrogen gas. Pressure drops in the longer channels were measured at locations remote from the entrance and the exit regions so that the entrance and exit effects could be avoided and would not adversely effect measured values. For the short microchannels, pressure measurements were made at the entrance and exit sections, and the entrance and exit losses were estimated and included in the calculations to obtain the pressure drop in the channels. Friction factors were determined for laminar and turbulent regimes and the experimental results were compared with simulations using a finite volume based CFD software package. It was found that the conventional theories accurately predict the flow characteristics in microchannels to a Reynolds number of approximately The onset of transition to turbulence was visualized, and it was observed that the development of fully turbulent flow was somewhat retarded in microchannels. The study indicated that reduced microchannel size may have a significant impact on the development of turbulence. Lee et al. [41] reported experimental results on single-phase flow of deionized water in copper microchannels ranging in width from 194 m to 534 m, maintaining an almost constant width to depth ratio of 5. These experiments covered the laminar range, and also extended into the turbulent flow range. The accuracy of a number of correlations were compared with the experimental results, with parameters such as the channel geometry and whether the flow was developing or fully developed were considered. The experimental results revealed that numerical predictions based 24

16 için geniþletilebilir. Ýlgileþimlerin doðruluðu kanal geometrisi gibi parametrelerin olduðu deneysel sonuçlarla karþýlaþtýrýlmýþ ve akýmýn geliþip geliþmediði veya tam olarak geliþip geliþmediði göz önünde bulundurulmuþtur. Deneysel sonuçlar, giriþ ve sýnýr þartlarýnýn uygun þekilde sayýsal modellerde yer aldýðý varsayýlarak; klasik, sürekli ortam modellemeye dayalý sayýsal tahminlerin dikkate alýnan mikrokanal boyutlarýnda ýsý geçiþi ve akýþý doðru þekilde tarif ettiðini ortaya çýkarmýþtýr. Favre-Marinet ve diðerleri [42], paralel levhalý mikrokanallarda ýsý geçiþi ve sývý akýþý üzerine deneysel çalýþmalar gerçekleþtirmiþ ve basýlmýþ eserlerdeki eniyileme sonuçlarýnýn kanallar arasýndaki en uygun aralýklarý deneysel olarak belirlediðini doðrulamýþlardýr. Bu karþýlaþtýrmanýn sonuçlarý, 0.4mm den daha büyük aralýklarý olan kanallar için klasik tahmin tekniklerinin geçerli olduðunu ancak kanal aralýðý 0.4mm den daha az olduðunda Nusselt sayýlarýnýn olmasý gerekenden büyük tahmin edildiðini göstermiþtir. Ayrýca akýþ geçiþinin kanal büyüklüðünden etkilenmediði de belirtilmiþtir. Judy ve diðerleri [43], birleþmiþ silis ve paslanmaz çelikten yapýlan kare mikrokanallar ve mikrotüplerdeki basýnçla zorlanmýþ sývý akýþýný incelemiþlerdir. Hidrolik çaplarý m arasýnda deðiþen kanallarda viskozite farklýlýklarýnýn etkisini belirlemek için su, metanol ve isoproponal ile deneyler yapýlmýþtýr. Deney sonuçlarýnýn, Stokes akým teorisi ile belirlenen sürtünme faktörü tahminleri ile örtüþtüðü görülmüþtür. Lelea ve diðerleri [44], geliþmekte olan laminer akýþ rejiminde çeþitli çaplarda mikrotüplerde sývý akýþý ve ýsý geçiþi üzerine deneysel ve sayýsal çalýþmalar gerçekleþtirmiþlerdir. Paslanmaz çelikten su damýtma sistemi incelenmiþ ve deneysel ýsý geçiþi ve akýþkan akýþý özellikleri ile geleneksel borular için sayýsal ve teorik sonuçlarýn karþýlaþtýrýlmasý sunulmuþtur. Giriþ etkilerinin gereken þekilde dahil edilmesi koþuluyla klasik ve geleneksel teorilerin mikrokanallarda su akýþý için uygulanabilir olduðu sonucuna varýlmýþtýr. Ren ve diðerleri [45], mikrokanallarda saf su ve KCI çözeltilerinin debi ve basýnç düþümü arasýndaki iliþkiyi on classical, continuum modeling, accurately describes the flow and heat transfer in the range of microchannel dimensions evaluated, provided the entrance and boundary conditions are appropriately incorporated in the numerical models. Favre-Marinet et al. [42] conducted experimental studies on fluid flow and heat transfer in parallel plate microchannels, and verified the experimentally determined optimal spacing between the channels to optimization results presented in the literature. The results of this comparison demonstrated that the classical prediction techniques were valid for channels with a spacing greater than 0.4 mm, but that the Nusselt numbers were over-predicted, when the channel spacing was less than 0.4 mm. It was also noted that the flow transition is not affected by the channel size. Judy et al. [43] reviewed the pressure driven liquid flow in microtubes and square microchannels fabricated from fused silica and stainless steel. Experiments were preformed for channel hydraulic diameters in the range m, with water, methanol and isopropanol to determine the effect of differences in the viscosity. The experimental results were found to match well with predicted values of the friction factor as determined from Stokes flow theory. Lelea et al. [44] presented experimental and numerical studies of heat transfer and fluid flow in microtubes with various diameters in the developing laminar flow regime. A stainless steel-distilled water system was investigated and comparisons of the experimental heat transfer and fluid flow characteristics with numerical and theoretical results for conventional tubes were presented. It was concluded that classical and conventional theories are applicable for water flow in microchannels, provided the entrance effects are properly included. Ren et al. [45] presented an experimental and theoretical study to determine the correlation between the pressure drop and flow rate of pure water and aqueous KCl solutions in microchannels. A strong 25

17 belirlemek için deneysel ve teorik çalýþmalarýný sunmuþlardýr. Basýnç düþüþünün kanal büyüklüðüne ve sývýlarýn iyonik konsantrasyonuna büyük ölçüde baðlý olduðu gözlenmiþtir. Deneysel veriler; üzerinde çalýþýlan seyreltilmiþ iyonik çözeltiler ve saf sudaki basýnç düþümü üzerinde elektro-viskoz etkileri ve elektrik çift tabakanýn etkilerini gösteren bir elektro kinetik akýþ modelinin sonuçlarý ile de karþýlaþtýrýlmýþtýr. Jiang ve diðerleri [46], mikrokanallarý ve gözenekli ortamý olan ýsý deðiþtiricileri üzerine deneysel incelemelerini sunmuþlardýr. Performanslarýn karþýlaþtýrýlmasýna ek olarak mikrokanal büyüklüðünün, ýsý deðiþtiricilerinin ýsý geçiþ performansý üzerindeki etkisini analiz etmek için sayýsal bir inceleme yapýlmýþtýr. Analiz edilen ýsý deðiþtiricilerde derin ve sýð mikrokanallar ve gözenekli ortamlar bulunmaktadýr. Hem ýsý geçiþi hem de basýnç düþümü açýsýndan ele alýndýðýnda derin mikrokanallý ýsý deðiþtiricisinin diðer iki ýsý deðiþtiriciden daha iyi bir performans gösterdiði gözlenmiþtir. Yin ve diðerleri [47], paralel devreleri ve karmaþýk baþlýklarý olan bir mikrokanallý ýsý deðiþtiricinin tek faz basýnç düþümü ölçümlerini sunmuþlardýr. Ölçümler dahili imalat kusurlarýný belirlemek üzere yapýlmýþtýr. Sonuçlar milimetreden daha küçük boyutlardaki kanallarda sürtünme için Moody Diyagramý'nýn uygulanabilir olduðunu doðrulamaktadýr. Xu ve diðerleri [48], akým alanýný birçok baðýmsýz bölümlere ayýran bir dizi boyuna ve enine mikrokanallarý olan bir mikrokanal ýsý alýcýsý geliþtirmiþlerdir. Bu düzenleme sýnýr tabakasýnýn bölünmesine ve yeniden eklenmesine sebep olarak ýsý geçiþini arttýrmýþtýr. Bu incelemede geleneksel boyuna mikrokanallarla karþýlaþtýrýldýðýnda basýnç düþümü daha azdýr. Deneylerde yüksek çözünülürlüðü olan kýzýlötesi sýcaklýk ölçme sistemi kullanýlarak yerel yonga sýcaklýðý ve ýsý akýsý ölçülmüþtür. Uygun bir ýsýl direnç ve boyutsuz bir basýnç düþümü belirlenmiþtir. Ayrýca, her bir baðýmsýz bölgedeki ýsý transferini kontrol eden boyutsuz bir parametrede aþaðýdaki þekilde elde edilmiþtir. dependence of the pressure drop on the channel size and the ionic concentration of the liquids was observed. The experimental data were also compared with the results of an electrokinetic flow model, signifying the effect of the electrical double layer and the electroviscous effects on the pressure drop in pure water and the dilute ionic solutions studied. Jiang et al. [46] presented experimental investigations of heat exchangers with microchannels and porous media. In addition to comparing the relative performance, a numerical investigation was performed to analyze the influence of the microchannel size on the heat transfer performance of the exchangers. The heat exchangers analyzed consisted of deep and shallow microannels and porous media. It was observed that, considering both the heat transfer and pressure drop aspects, the deep microchannel heat exchanger offered better performance than the other two heat exchangers. Yin et al. [47] reported measurements of single-phase pressure drop in a microchannel heat exchangers with complex headers and parallel circuits. The measurements were done in order to identify internal manufacturing defects. The results confirmed that the Moody Chart is applicable for friction in submillimeter sized channels. Xu et al. [48] developed a microchannel heat sink with a number of longitudinal and transverse microchannels, dividing the flow domain into several independent zones. This arrangement produced interruption and reattachment of the boundary layer, thus enhancing the heat transfer. In this investigation, the pressure drop was reduced, when compared to conventional longitudinal microchannels. In the experiments, the local chip temperature and heat fluxes were measured using a high resolution infrared temperature measuring system. An appropriate thermal resistance and a dimensionless pressure drop were both defined. In addition, a dimensionless parameter which controls the heat transfer in each independent zone was obtained as follows: 26

18 L + h,s = L h, s / (Dh Re Pr) (2) Bu parametreye göre genel Nusselt sayýsýnýn deðiþimi sunulmakta ve birinde enine kanal olan diðerinde ise olmayan iki silikon mikrokanal ýsý alýcýsýndan gelen yeni tasarým için ýsý transferinde artýþ ve basýnç düþüþünde azalmayý gösteren deneysel sonuçlar karþýlaþtýrýlmaktadýr. Steinke ve Kandlikar [49], hidrolik çapý 207 m olan ikizkenar yamuk þeklindeki mikrokanallarda kaynar suyun akýþý sýrasýnda laminer tek-fazlý ve iki-fazlý akýþ üzerine deneysel çalýþmalarýný sunmuþlardýr. Adyabatik koþullar altýnda tek-fazlý laminer akýþ sürtünme faktörünün geleneksel iliþkiler kullanýlarak doðru þekilde tahmin edilebileceði görülmektedir. Yukarýda verilen referanslarýn çoðu, mikrokanallarýn analizleri için geleneksel iliþkilerin kullanýmýný savunan kanýtlarý sunmasýna raðmen, basýlmýþ eserlerde belli koþullar altýnda geleneksel teoriden belirli sapmalar gösteren bir dizi çalýþma da bildirilmiþtir. Celata (50), kýlcal mikro borularda tek- fazlý ýsý geçiþi ve akýþkan akýþý araþtýrmalarýnýn bir özetini ve laminer akým rejimindeki ýsý transferi ve sürtünme faktörü deneysel sonuçlarýný sunmuþtur. Deneysel çalýþmalar sonunda, yaklaþýk 800'ün altýndaki Reynolds sayýlarý için sürtünme faktörünün Hagen-Poisseuille kanunu ile uyumlu olduðu görülmüþtür. Laminer akýþtan türbülanslý akýþa geçiþin Reynolds sayýsýnýn olduðu aralýkta gerçekleþtiði görülmüþtür. Ayrýca mikrotüplerdeki ýsý geçiþi oranlarýnýn tahmini için geleneksel ýsý geçiþi iliþkilerinin yetersiz kaldýðýný belirtmiþtir. Bazý yayýnlarda, genelde mikrokanal akýþýnýn doðasýný, özelde mikrokanal ýsý deðiþtiricileri ve ýsý alýcýlarý ele alýnmýþ, gözden geçirilmiþ ve tartýþýlmýþtýr ve bu araçlarýn uygulamasýnda olduðu kadar araþtýrma için de rehberlik saðlanmýþtýr. Eason ve diðerleri [51], farklý teknikler (ýslak-aþýndýrma, derin iyon aþýndýrma ve hassas kesim) kullanýlarak, farklý kesit þekilleri ve boyutlarý alýnarak (ikizkenar yamuk, dikdörtgen ve dikdörtgenimsi) hem L + h,s = L h, s / (D Re Pr) (2) h The variation of the overall Nusselt number with respect to this parameter was presented, and comparisons were made between the experimental results from two silicon microchannel heat sinks, one with, and one without the transverse channels, which indicated an enhancement in heat transfer and a reduction in the pressure drop for the new design. Steinke and Kandlikar [49] reported experimental investigations on laminar single-phase and twophase flow, during flow boiling of water in trapezoidal microchannels with a hydraulic diameter of 207 m. It was found that under adiabatic conditions, the single-phase laminar flow friction factor could be accurately predicted using conventional correlations. Though most of the above cited references provided evidence to justify the use of conventional correlations and analyses for microchannels, there have been a number of studies reported in the literature that identified deviations from conventional theory under certain conditions. Celata [50] provided an overview of the research in single-phase heat transfer and fluid flow in capillary micropipes, and presented experimental results of the friction factor and heat transfer in the laminar flow regime. It was found from the experimental studies that the friction factor is in close agreement with the Hagen- Poiseuille law below Reynolds numbers of approximately 800. The transition from laminar to turbulent flow was found to occur in the Reynolds number range of It was also noted that conventional heat transfer correlations are inadequate for the prediction of heat transfer rates in microtubes. Some of the publications reviewed and discussed the nature of microchannel flow in general and micro heat exchangers and heat sinks in particular, and provided guidelines for research as well as the application of these devices. Eason et al. [51] presented 27

19 silikon hem de plastikten yapýlan mikrokanallarýn basýnç düþüþ özelliklerinin doðrudan bir karþýlaþtýrýlmasýný sunmuþtur. Yapým süreci ve kanal boyutlarýnýn ölçümleri de sunulmuþtur. [51] numaralý referansta tanýmlanan mikrokanal sisteminin deneysel çalýþmalarý, deney setini ve akým sürtünme ölçümlerini tanýmlayan Eason ve diðerleri [52] tarafýndan sunulmuþtur. Ayrýca bir hata analizi ve ölçümlerdeki yanlýþlýklarý hesaba katmak için yöntemlerde sunulmuþtur. Deneysel ve tahmini basýnç düþümünün karþýlaþmalarý ve sürtünme faktör karakteristikleri sunulmuþ ve ele alýnan çeþitli durumlar için irdelenmiþtir. Newport ve arkadaþlarý [53] mikrokanallardaki sýcaklýk daðýlýmýnýn ölçümlerinde gelinen son durumu özetlemiþ ve akýþkan akýþýnda sýcaklýk alanýnýn elde edilmesi için interferometrik ölçümler önermiþtir. Ýncelemelerde faz farký, yoðunluðu haritalarýndan sýcaklýk verilerinin alýnmasýnýn doðruluðu da tartýþýlmýþtýr. Ayrýca faz oluþumu üzerinde ses seviyesinin etkisini tahmin etmek için optik deneyler de tanýmlanmýþtýr. Ýnterferogram benzetimi ve ölçümlerdeki ses seviyesinin iki boyutlu yoðunluk çizimleri sunulmuþtur. Kockman ve diðerleri [54], mikrokanallardaki 90 derece dirseklerde kütle geçiþi ve karýþýmýnýn sayýsal analizi hakkýndaki tartýþmalarý sunmuþlardýr. T baðlantýlarýndaki ýsý geçiþ de analiz edilmiþtir. Çalýþma, farklý dirsek ve baðlantý þekillerinde aktarým iþlemleri (ýsý ve kütle geçiþi), akýþkan kuvvetleri, laminer akýþ basýnç daðýlýmý üzerine tartýþmalar da sunmaktadýr. Nishio [55], mikrokanallarda ýsý geçiþini tek-fazlý laminer akýþ, iki-fazlý akýþ, tek-oluþumlu iki-fazlý ve dalgalý akýþýn ýsý geçiþ durumlarýný irdelemiþtir.mikrokanallardaki ýsýl dalgalanmalarýn detaylý analizleri, buharlaþma üzerindeki etki ve termo akustik etkiler dikkate alýnarak sunulmuþtur. Ayrýca 0.1mm den daha geniþ çaplý tüplerin deneysel sonuçlarýnýn geleneksel analizlerle uyuþtuðunu gösteren deneysel sonuçlar da tartýþýlmýþtýr. Kandlikar ve Grande [56], gelecekteki IC yongalarýnýn soðutma gereksinimi için araþtýrma fýrsatlarýný belirleme amaçlý tek-fazlý bir soðutma teknolojisinin yol haritasýný a direct comparison of the pressure drop characteristics for microchannels, produced using different techniques (wet-etching, deep reactive ion etching and precision sawing) and having different cross-sectional shapes (trapezoidal, rectangular and near rectangular) and dimensions, in both silicon and plastic. The manufacturing process and measurement of the channel dimensions were also presented. Experimental studies of the microchannel system described in [51] were presented by Eason et al. [52], who described the experimental facility and the flow friction measurements. An error analysis, and methods for accounting for the inaccuracies in the measurements were also presented. Comparisons of the experimental and predicted pressure drop and friction factor characteristics were presented and discussed for the various cases investigated. Newport et al. [53] reviewed the state-of-the-art in the measurement of the temperature distribution in microchannels, and suggested interferometric measurements for obtaining the temperature field in the fluid flow. The accuracy of extracting temperature data from phase difference intensity maps was discussed in the paper. Optical experiments to estimate the effect of the noise level on the phase evaluation were also described. Simulated interferograms and a twodimensional intensity plot of the noise level in the measurements were presented. Kockmann et al. [54] presented discussions a numerical study of mixing and mass transfer in sharp 90 degree bends in microchannels. Heat transfer in T joints were also analyzed. The paper presented discussions of laminar flow pressure distributions, fluid forces, and transport processes (heat and mass transfer) in different configurations of bends and joints. Nishio [55] discussed the heat transfer aspects of single-phase laminar flow, two-phase flow and twophase self-exciting, oscillating flow in microchannels. 28

20 sunmuþlardýr. Mikroelektroniklerin doðrudan su soðutmasý tasarým seçeneklerinin yaný sýra yonga soðutma üzerine mevcut teknolojiler de incelenmiþtir. Araþtýrmada ayrýca mikrokanallar ve kanallar içindeki mikro yapýlar için derin reaktif aþýndýrma teknolojisi gibi, yapým metotlarý da yer almýþtýr. Ayrýca basýnç düþüþü, maliyet, kirlenme gibi anahtar tasarým koþullarý üzerine tartýþmalar da sunulmuþtur. 3. Faz Deðiþimi ve Ýki-Fazlý Akýþ Mikrokanallar ve mikrotüplerde buharlaþma ve kaynama, yoðuþma ve iki-fazlý akýþ üzerine teorik ve deneysel incelemeler sunulmuþtur. Bu incelemelerin çoðu akýþ ve sýcaklýk ölçümleri ve akýþ görselleþtirme tekniklerinin uygulanmasý ile faz deðiþim özelliklerinin daha iyi anlaþýlmasýný hedeflemiþtir. Ýki-fazlý akýþlar için geleneksel teorik modellerle karþýlaþtýrmalar yapýlmýþtýr. Ayrýca dikkatle yapýlan deneylerle, mikrokanallarda ikifazlý akýþ rejimleri hakkýnda bilgiler de edinilmiþtir. 3.1 Teorik Modeller Li ve Cheng [57], deðiþik köþe açýlý mikrokanallarda akan suda kabarcýk çekirdekleþmesi ve geleneksel çekirdekleþme kinetiði teorilerine dayanarak, bir mikrokanaldaki kabarcýk kavitasyonu üzerine sayýsal bir çalýþma sunmuþlardýr. Üç-boyutlu bir model geliþtirilmiþ ve kütlesel debi ve ýsý akýsýnýn mikrokanallarda kabarcýk oluþumu üzerindeki etkisinin anlaþýlabilmesi için sayýsal hesaplamalar yapýlmýþtýr. Temas açýsý, çözünmüþ gazlar, mikro kavitasyonlar ve mikrokanal þekillerinin çekirdekleþme/kavitasyon sýcaklýðý üzerindeki etkisi tahmin edilmiþtir. Mikrokanallardaki hava kabarcýðý oluþumunda yönetici parametrelerin; mikrokanalýn hidrolik çapý ve uzunluðu, kütlesel debi, ýsýtýcý yüzeyi üzerindeki ýsý akýsý, çekirdekleþme sýcaklýðý, akýþkanýn giriþ sýcaklýðý ve mikrokanalýn üst duvar sýcaklýðý olduðu sonucuna varýlmýþtýr. Peng ve diðerleri [58], mikrokanallarda hava kabarcýklarý oluþumunun gözle görülmediði, hayali Detailed discussions of the thermal fluctuations in microchannels were presented, including the effect on evaporation and the thermo acoustic effects. The paper also discussed experimental results, which indicated that for tubes larger than 0.1 mm in diameter, the experimental results are in good agreement with conventional analyses. Kandlikar and Grande [56] presented a roadmap of single-phase cooling technology to identify research opportunities to meet the cooling demands of future IC chips. An overview of the current technologies for chip cooling was presented, along with design considerations for direct water cooling of microelectronics. The paper presented fabrication methods such as deep reactive etching technology, for microchannels and microstructures within channels. It also presented discussions on key design concerns such as pressure drop, fouling and cost considerations. 3. Phase Change and Two-Phase Flow Theoretical and experimental investigations have been reported on evaporation and boiling, condensation, and two-phase flow in microchannels and microtubes. A majority of these investigations were directed at achieving a better understanding of the characteristics of phase change through measurements of flow and temperature, and by the application of flow visualization techniques. In the case of two-phase flows, comparisons with conventional theoretical models were performed. Information about two-phase flow regimes in microchannels were also brought out through careful experimentation. 3.1 Theoretical Models Li and Cheng [57] presented a numerical study of bubble cavitation in a microchannel, based on the classical theory of nucleation kinetics and bubble nucleation for water flowing in microchannels with different corner angles. A three-dimensional model was developed, and numerical computations were 29