PLAZMA YÜZEY TEKNOLOJİSİ. made in GERMANY

Ebat: px

Şu sayfadan göstermeyi başlat:

Download "PLAZMA YÜZEY TEKNOLOJİSİ. made in GERMANY"

Yildiz Ayral
7 yıl önce
İzleme sayısı:

1 PLAZMA YÜZEY TEKNOLOJİSİ made in GERMANY

UYGULAMA ALANLARI Analitik (REM, TEM) Arkeoloji Otomotiv Sanayi AR-GE Departmanları Yarıiletken Teknolojisi Medikal Teknolojisi Plastik Sanayi Küçük Ölçekli

Kirlenmiş yapı maddelerinin temizliğinde, plastik parçaların plazmayla aktifleştirilmesinde, PTFE yakımında, silisyum ve plastik parçaları PTFE ye benzeyen

2 UYGULAMA ALANLARI Analitik (REM, TEM) Arkeoloji Otomotiv Sanayi AR-GE Departmanları Yarıiletken Teknolojisi Medikal Teknolojisi Plastik Sanayi Küçük Ölçekli Üretim Mikro-sistem Teknolojisi Sterilizasyon Sensörler Tekstil Sanayi Plazma tekniği yüzey değiştirmede çeşitli olanaklar sunmaktadır. Kirlenmiş yapı maddelerinin temizliğinde, plastik parçaların plazmayla aktifleştirilmesinde, PTFE yakımında, silisyum ve plastik parçaları PTFE ye benzeyen tabaka ile kaplamada gibi uygulamalar yapılmaktadır. Bu nedenle plazma tekniği malzeme birleştirmede yada hedeflenmiş malzemenin yüzey özelliğini değiştirme gibi değişik alanlarda kullanılmaktadır.

FEMTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak

çelik, yuvarlak kapaklı (yak. Ø100 mm, G: 278 mm veya G: 600 mm) Paslanmaz çelik, dikdötrgen menteşeli kapı (yak.

Ø95 mm, G: 280 mm veya 600 mm) Kuvars camı (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak.

Ø95 mm, G: 280 mm veya 600 mm) Versiyon A Versiyon B Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı (Opsiyon: su soğutmalı), kuvars cam teknesi, toz döner

seviyeler RIE Sistem Kontrol Seçeneği Yarı-otomatik PCCE kontrol (Microsoft Windows CE) PC kontrol (Microsoft Windows Xp) Basınç Ölçüm Seçeneği

3 FEMTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak 1,9-6 litre 230V (masa üstü tip), 400V/3 faz Gaz Beslemesi Seçeneği İğne vana Kütle Akış Kontrolörleri (MFC ler) Vakum Odası Seçeneği Paslanmaz çelik, yuvarlak kapaklı (yak. Ø100 mm, G: 278 mm veya G: 600 mm) Paslanmaz çelik, dikdötrgen menteşeli kapı (yak. G: 103 mm x Y: 103 mm x D: 285 mm veya 600 mm) Alüminyum, yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø95 mm, G: 280 mm veya 600 mm) Kuvars camı (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø95 mm, G: 280 mm veya 600 mm) Borosilikat cam (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø95 mm, G: 280 mm veya 600 mm) Versiyon A Versiyon B Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı (Opsiyon: su soğutmalı), kuvars cam teknesi, toz döner tambur, dökme malzeme döner tambur, alüminyum levha, paslanmaz çelik levha, borosilikat cam, kuvars cam Elektrot Seçeneği Tek veya Çoklu seviyeler RIE Sistem Kontrol Seçeneği Yarı-otomatik PCCE kontrol (Microsoft Windows CE) PC kontrol (Microsoft Windows Xp) Basınç Ölçüm Seçeneği Pirani Baratron (aşındırıcı gazlar için) Zamanlayıcı Dijital Jeneratör Seçeneği Frekans: 40 khz Güç: W; W MHz Güç: 0-50 W; W 2.45 GHz Güç: W; W Versiyon C Versiyon D Vakum Pompası Seçeneği Çift kademeli yağlı mekanik vakum pompası Kuru tip yağsız vakum pompası Versiyon E

PICO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak 4-15

yuvarlak kapaklı (yak. Ø150 mm, G: 320 mm veya 600 mm) Paslanmaz çelik, dikdötrgen menteşeli kapı (yak.

Ø130 mm, G: 300 mm veya 600 mm) Kuvars camı (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak.

Ø130 mm, G: 300 mm veya 600 mm) Versiyon A Versiyon B Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı (Opsiyon: su soğutmalı), kuvars cam teknesi, toz döner

4 PICO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak 4-15 litre 230V (masa üstü tip), 400V/3 faz Gaz Beslemesi Seçeneği İğne vana Kütle Akış Kontrolörleri (MFC ler) Vakum Odası Seçeneği Paslanmaz çelik, yuvarlak kapaklı (yak. Ø150 mm, G: 320 mm veya 600 mm) Paslanmaz çelik, dikdötrgen menteşeli kapı (yak. G: 160mm x Y: 160mm x D: 325mm veya 600mm) Alüminyum, yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø130 mm, G: 300 mm veya 600 mm) Kuvars camı (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø130 mm, G: 300 mm veya 600 mm) Borosilikat cam (UHP), yuvarlak kapaklı veya menteşeli kapı (yak. Ø130 mm, G: 300 mm veya 600 mm) Versiyon A Versiyon B Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı (Opsiyon: su soğutmalı), kuvars cam teknesi, toz döner tambur, dökme malzeme döner tambur, alüminyum levha, paslanmaz çelik levha, borosilikat cam, kuvars cam Elektrot Seçeneği Tek veya Çoklu seviyeler RIE Sistem Kontrol Seçeneği Yarı-otomatik PCCE kontrol (Microsoft Windows CE) PC kontrol (Microsoft Windows Xp) Basınç Ölçüm Seçeneği Pirani Baratron (aşındırıcı gazlar için) Zamanlayıcı Dijital Jeneratör Seçeneği Frekans: 40 khz Güç: W MHz Güç: 0-50 W; W; W 2.45 GHz Güç: W; W Vakum Pompası Seçeneği Çift kademeli yağlı mekanik vakum pompası Kuru tip yağsız vakum pompası Versiyon C Versiyon D Versiyon E

ZEPTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak 1,7-2,6 litre 230V Gaz Beslemesi Seçeneği İğne vana Kütle

Ø105 mm, G: 200 mm veya 300 mm) Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı; alüminyum levha, paslanmaz çelik levha, borosilikat cam, kuvars cam Elektrot Seçeneği Tek veya Çoklu seviyeler RIE Sistem Kontrol

5 ZEPTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Temel Ekipman Cihazın boyutu sistem bileşinlerin seçimine göre değişir Oda hacmi: versiyona bağlı olarak 1,7-2,6 litre 230V Gaz Beslemesi Seçeneği İğne vana Kütle Akış Kontrolörleri (MFC ler) Vakum Odası Seçeneği Kuvars camı (UHP), yuvarlak kapaklı (yak. Ø105 mm, G: 200 mm veya 300 mm) Borosilikat cam (UHP), yuvarlak kapaklı (yak. Ø105 mm, G: 200 mm veya 300 mm) Yükleme Seçeneği Ürün taşıyıcı; alüminyum levha, paslanmaz çelik levha, borosilikat cam, kuvars cam Elektrot Seçeneği Tek veya Çoklu seviyeler RIE Sistem Kontrol Seçeneği Manuel PCCE kontrol (Microsoft Windows CE) PC kontrol (Microsoft Windows Xp) Basınç Ölçüm Seçeneği Pirani Zamanlayıcı Dijital Jeneratör Seçeneği Frekans: 40 khz Güç: W MHz Güç: 0-50 W Vakum Pompası Seçeneği Çift kademeli yağlı mekanik vakum pompası Kuru tip yağsız vakum pompası

ATTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Manuel Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 425 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum odası hacmi:

zamanlayıcı üzerinden işlem süresi Besleme: 230V Bilgisayar Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 525 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum

Windows XP) Besleme: 230V PCCE Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 525 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum odası hacmi: yaklaşık 10,5

6 ATTO DÜŞÜK BASINÇLI PLAZMA SİSTEMİ Manuel Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 425 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum odası hacmi: yaklaşık 10,5 litre Gaz beslemesi: iki gaz girişli, iğne vana Jeneratör: 40kHz/200W veya 13,56MHz/50W Vakum pompası: 2 m 3 /saat emiş güçlü Ürün taşıyıcısı: 1 adet Kontrol: manuel, analog zamanlayıcı üzerinden işlem süresi Besleme: 230V Bilgisayar Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 525 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum odası hacmi: yaklaşık 10,5 litre Gaz beslemesi: iki gaz girişli, MFC Jeneratör: 40kHz/200W veya 13,56MHz/50W Vakum pompası: 2 m 3 /saat emiş güçlü Ürün taşıyıcısı: 1 adet Kontrol: PC (Microsoft Windows XP) Besleme: 230V PCCE Kontrollü Atto Plazma Temizleyici Cihazın boyutu: G: 525 mm x Y: 275 mm x D:450 mm Vakum odası: Cam, yaklaşık Ø211 mm - G: 300 mm Vakum odası hacmi: yaklaşık 10,5 litre Gaz beslemesi: iki gaz girişli, MFC Jeneratör: 40kHz/200W veya 13,56MHz/50W Vakum pompası: 2 m 3 /saat emiş güçlü Ürün taşıyıcısı: 1 adet Kontrol: PCCE (Microsoft Windows CE) Besleme: 230V

Benzer belgeler

ANAEROBİK KABİNLER, İNKÜBATÖRLER VE VAKUMLU ETÜVLER. made in USA

ANAEROBİK KABİNLER, İNKÜBATÖRLER VE VAKUMLU ETÜVLER made in USA ANAEROBİK KABİNLER BACTRONEZ BACTRON 600 ANAEROBİK KABİN ÖZELLİKLERİ Numuneleri kolay yönetmek için eldivensiz dizayn Ayrılmış inkübatör