Alüminyum Test Eğitim ve Araştırma Merkezi. Mart 2017

Ebat: px

Şu sayfadan göstermeyi başlat:

Download "Alüminyum Test Eğitim ve Araştırma Merkezi. Mart 2017"

Nesrin Togan
6 yıl önce
İzleme sayısı:

1 Alüminyum Test Eğitim ve Araştırma Merkezi Mart 2017

2 SEM Nedir? SEM ile Neler Yapılabilir?

3 SEM ile Neler Yapılabilir?

4 SEM Giriş SEM nedir? Mikro ve nano boyuttaki yapıları görüntüleyebilmek için kullanılan bir mikroskop türüdür. Yüksek ayırt edebilme gücü Yüksek alan derinliği Büyük ve pürüzlü örnekler, toz halindeki örnekler. Optik Mikroskop - SEM Vida Uzunluğu: ~ 0.6 cm Topografi, morfoloji ve kimyasal analiz

5 Daha iyi alan derinliği Signal: BSE Carbon X-ray

6 Optik Mikroskop Karşılaştırma Optik Mikroskop λ = nm μ 1 Elektron Mikroskobu λ = nm μ = 1 (vacuum) max. r = 150 nm for λ = nm and α = 0.1 radians r = 0.04 nm

Elektron Kaynakları Termoiyonik kaynaklar

Schottky Emitörleri Soğuk Alan Emitörleri

7 Elektron Kaynakları Termoiyonik kaynaklar (Tungsten flament, LaB6, CeB6) Alan emisyonlu kaynaklar (Ekstra vakum ve soğutucu) yüksek akım yoğunlukları Schottky Emitörleri Soğuk Alan Emitörleri LaB6 Tek kristal Tungsten flament Alan emisyonlu kaynak

8 Elektron demeti ile örnek etkileşimi

9 Elektron demeti ile örnek etkileşimi 5 kev 15 kev Al Si

10 Elektron demeti ile örnek etkileşimi Düşük Enerji ile yüzey detayları Vacc. : 15kV TiO 2 50mm 20μm Vacc. : 5kV Vacc. : 3kV

11 Elektron demeti ile örnek etkileşimi X-ray PE BSE CL SE ~10nm (2) SE Detector Current EBIC Scattered TE TE Hitachi High-Technologies Europe GmbH

12 Elektron demeti ile örnek etkileşimi Gelen elektronlar İkincil elektronlar Geri saçılımlı elektronlar X-ışınları Örnek

13 Dedektörler 4+1 segment PD-BSE EDX UVD E-Th. SE IR kamera

14 Detektör Sistemleri Everhart-Thornley Dedektörü (SE) İkincil elektronları algılar Sadece yüksek vakum modunda çalışır 4+1 segment PD-BSE detektor Geri saçılımlı elektronları algılar 5 segmentli olan dedektör 1.5kV den itibaren görüntü alabilir Düşük vakum, yüksek vakum modlarında çalışır Ultra Variable pressure mode Detector (UVD) Düşük vakum modu için foton bazlı SE detektör Düşük vakumdaki soft örneklerin görüntülenmesi

15 BSE Detektörü SE (Everhart Thornley) BSE TOPO BSE COMPO BSE COMPO BSE 3D

16 UVD Dedektörü BSE Image UVD Image

17 Charging Pressure: 5 Pa Kaplanmamış Pressure: 10 Pa Kaplanmış Pressure: 20 Pa 20µm

18 Vakum Modları(Değişken vakum) Yüksek Vakum Modu (İletken örnekler) Düşük Vakum Modu (Yalıtkan örnekler) Charging etkisini kaldırmak için iyonize gaz molekülleri Gaz molekülleri Gelen elektronlar OBJ. Lens Iyon -e + + Uyarılmış gaz BSE Örnek SE

19 Değişken Vakum Modu Avantajı Bazalt - kaplanmamış

20 Değişken Vakum Modu Avantajı Bazalt - kaplanmamış

21 BSE Dedektör avantajı Bazalt - kaplanmamış

22 Al matrisdeki Al 5 Mo dendiritik yapıları Hitachi High-Technologies Europe GmbH Sample courtesy of Prof. Vilar, IST Lissabon

23 X-ışınları ve kimyasal analiz metodu

24 X-ışınları ve kimyasal analiz metodu

25 X-ışınları ve kimyasal analiz metodu

26 Kimyasal Analiz Hitachi High-Technologies Europe GmbH

27 Kimyasal Analiz EDX analiz alanı

28 Kimyasal Analiz Cutabakası Kaplama tabakası Alaşım Fazı Lehim BSE görüntüsü (compo) Cu-K Ni-K Pb-M Sn-L 4 elementin üst üste gösterimi 10μm Vacc. : 15kV Mag. : x2k Integration time :3min Copyright 2008 Hitachi High-Technologies Corporation All Rights Reserved.

29 Kimyasal Analiz Signal: BSE Carbon X-ray

30 Kimyasal Analiz

31 Teşekkürler

Benzer belgeler

TARAMA ELEKTRON MİKROSKOBU SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

GAZİ ÜNİVERSİTESİ TEKNOLOJİ FAKÜLTESİ METALURJİ VE MALZEME MÜHENDİSLİĞİ MEM-317 MALZEME KARAKTERİZASYONU TARAMA ELEKTRON MİKROSKOBU SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM) Yrd. Doç. Dr. Volkan KILIÇLI Arş.