PAMUKKALE ÜNİVERSİTESİ FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ. CuGaTe 2 İNCE FİLMLERİNİN YAPISAL ELEKTRİKSEL VE OPTİK ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ

Transkript

1 PAMUKKALE ÜNİVERSİTESİ FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ CuGaTe 2 İNCE FİLMLERİNİN YAPISAL ELEKTRİKSEL VE OPTİK ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ YÜKSEK LİSANS TEZİ Yunus KAMAÇ Anabilim Dalı : Fizik Tez Danışmanı: Doç. Dr. Koray YILMAZ 2013

2

3

4 ÖNSÖZ Tez çalışmamın hazırlanmasında, beni yönlendiren, bilgi birikim ve tecrübelerinden faydalandığım saygıdeğer danışman hocam Doç. Dr. Koray YILMAZ a içten teşekkürlerimi sunarım. Çalışmam sırasında yardımlarını benden esirgemeyen değerli hocalarım Prof. Dr. Orhan KARABULUT, Dr. Yusuf ÖZCAN ve Uzm. Süleyman Ş. ÇELİK e teşekkür ederim. Deneysel çalışmalarım boyunca yardımlarını esirgemeyen, başta Meltem CEYLAN ve Duygu TAKANOĞLU olmak üzere tüm Yarıiletken Araştırma Grubumuza teşekkür ederim. Hayatım boyunca maddi ve manevi desteğini benden esirgemeyen sevgili aileme teşekkür ederim. Bu çalışma 2012FBE071 numaralı Pamukkale Üniversitesi Bilimsel Araştırma Projesi tarafından desteklenmiştir. Temmuz 2013 Yunus KAMAÇ iii

5 İÇİNDEKİLER Sayfa ÖZET... xi SUMMARY... xii 1. GİRİŞ Önceki Çalışmalar YARIİLETKENLER Giriş Katkılı ve Katkısız Yarıiletkenler Yarıiletkenlerde Taşıyıcı Yoğunluğu Yarıiletkenlerde Elektriksel İletkenlik Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Amorf Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Polikristal Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Termoiyonik Emisyon Tünelleme İletim Mekanizması Sıçrama (Hopping) İletim Mekanizması Yarıiletkenlerde Optik Soğurma Fotoiletkenlik ve Rekombinasyon Mekanizması Yarıiletken İnce Film Büyütme İşlemi Termal Buharlaştırma Yöntemi DENEYSEL YÖNTEM CuGaTe 2 Bileşiğinin Oluşturulması CuGaTe 2 İnce Filmlerinin Elde Edilmesi Omik Metal Kontakların Elde Edilmesi Elektriksel İletkenlik Ölçüm Sistemi Fotoiletkenlik Ölçüm Sistemi Hall Etkisi Ölçüm Sistemi Soğurma Ölçüm Sistemi X-Işını Kırınım Analizi DENEYSEL BULGULAR VE TARTIŞMA CuGaTe 2 İnce Filmlerinin Yapı Analizi CuGaTe 2 İnce Filmlerinin Elektriksel Özelliklerinin İncelenmesi Elektriksel İletkenlik Ölçüm Sonuçları Hall Etkisi Ölçüm Sonuçları CuGaTe 2 İnce Filmlerinin Optik Özelliklerinin İncelenmesi Fotoiletkenlik Ölçüm Sonuçları Optik Soğurma Ölçüm Sonuçları iv

6 5. SONUÇLAR KAYNAKLAR v

7 KISALTMALAR Cu : Bakır Te : Tellür Ga : Galyum Ge : Germenyum C : Karbon Si : Silisyum As : Arsenik T : Mutlak sıcaklık K : Kelvin C : Santigrad W : Tungsten Mo : Molibden Xe : Ksenon In : İndiyum HNO 3 : Nitrik asit H 2 O 2 : Hidrojen peroksit SEM : Taramalı Elektron Mikroskobu EDXA : Enerji Dağılımlı X-ışını Analizi XRD : X-ışını kırınımı TEM : Geçirimli Elektron Mikroskobu CGT : Tavlanmamış CuGaTe 2 ince filmi CGT-100 : C de tavlanmış CuGaTe 2 ince filmi CGT-200 : C de tavlanmış CuGaTe 2 ince filmi vi

8 TABLO LİSTESİ Tablolar Sayfa 3.1 : Üretilen ince filmlerin genel bilgileri : CuGaTe2 bileşiğinin ve CGT-200 numunesinin EDXA ölçüm sonuçları : CGT, CGT-100 ve CGT-200 örneklerine ait oda sıcaklığında elektriksel iletkenlik ve özdirenç değerleri : CGT, CGT-100 ve CGT-200 ince filmlerinin farklı sıcaklık bölgelerindeki aktivasyon enerjileri : Yarıiletken ince filmlerin Mott parametreleri : CGT, CGT-100 ve CGT-200 numunelerinin oda sıcaklığında Hall etkisi ölçüm sonuçları : CGT, CGT-100 ve CGT-200 numuneleri için elde edilen değerleri : Yarıiletken ince film numunelerinin oda sıcaklığında elde edilen yasak enerji aralıkları vii

9 ŞEKİL LİSTESİ Şekiller Sayfa 2.1 : (a) Yalıtkanlar, (b) yarıiletkenler ve (c) iletkenlerde basitleştirilmiş elektronik enerji bant yapısı ve 0 K sıcaklıkta Fermi enerji seviyesi : Fermi-Dirac dağılım fonksiyonu : Bir yarıiletkende elektrik alanın varlığında elektron ve deşiklerin hareket yönleri : (a) Amorf katılar, (b) kristal katılar için durum yoğunluğunun şematik gösterimi : Bir polikristal yarıiletkenin enerji-bant diyagramı : (a) İletkenlik bandı ile valans bandı arasındaki doldurulmuş ve boş lokalize durumlar (b) Taşıyıcıların iletim bandına uyarılması (c) Sıçrama İletimi : Elektronmanyetik radyasyonun x kalınlıklı bir maddeden geçerken soğrulması : Yarıiletkenlerde temel soğurma spektrumu : Doğrudan bant aralıklı kristallerin bant yapısı : Dolaylı bant aralıklı kristallerin bant yapısı : Termal buharlaştırma sisteminin şematik gösterimi : Termal buharlaştırma sistemi : Paslanmaz çelik vakum çemberi : Termal buharlaştırma sisteminin vakum alt birimleri : Termal buharlaştırma sisteminin elektronik kabin ünitesi : Yatay fırın ve kuartz tüpler içinde sentezlenen numuneler : Külçe halinde sentezlenen numunenin agat havanda toz haline getirilmesi : Termal buharlaşma sisteminde akım uygulanan pota içerisindeki malzemenin buharlaşma görüntüsü : Omik kontak maskesi (a) Şerit, (b) Van der Pauw geometrisi : Fotoiletkenlik ölçümü için kriyostat içerisine yerleştirilmiş numune ve LED in fotoğrafı : Hall etkisi olayının şematik diyagramı : Hall ölçümünde kullanılan örnek geometrileri : Van der Pauw tekniği ile Hall voltajı ölçümünün şematik gösterimi : Van der Pauw tekniği kullanarak direnç ölçümünün şematik gösterimi : Hall etkisi deney sisteminin şematik gösterimi : Soğurma ölçümlerinde kullanılan UV-Vis spektrometresi : X-ışınlarının kristal tarafından kırınıma uğratılması : XRD cihazının üstten görünüşü : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 ince filmlerinin XRD sonuçları : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 ince filmlerinin iletkenliğinin sıcaklık ile değişimi : (a)cgt, (b)cgt-100 ve (c)cgt-200 ince filmlerinin Ln( )-1000/T değişimi viii

10 4.4 : CGT-100 numunesine ait Ln( ) - T -1/4 değişim grafiği : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 ince filmlerinin mobilite-sıcaklık değişimi : CGT-200 ince filminin değişimi : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 numunelerinin Log( )-Log( ) değişimi : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 numunelerinin farklı ışık şiddetlerindeki iletkenliklerinin sıcaklıkla değişimi : (a) CGT, (b) CGT-100 ve (c) CGT-200 numunelerine ait 400 K sıcaklıktaki fotoakım-ışık şiddeti değişimi : (a) CGT, (b) CGT-100, (c) CGT-200 ince filmlerinin soğurma katsayısının foton enerjisine göre değişimi ix

11 SEMBOL LİSTESİ İletim bandı enerji seviyesi Valans bandı enerji seviyesi Yasak enerji aralığı enerjisi Fermi enerji seviyesi Donör seviyesi Akseptör seviyesi Özdirenç İletkenlik Boltzmann sabiti Planck sabiti İletim bandı enerji seviyesi Deşiğin kütlesi Elektronun kütlesi Deşiğin etkin kütlesi Elektronun etkin kütlesi Deşik yoğunluğu Elektron yoğunluğu Saf yarıiletkenlerde taşıyıcı yoğunluğu Akım yoğunluğu Elektrik alanı Mobilite Katkısız elektriksel iletkenlik İletkenlik için termal aktivasyon enerjisi Soğurma katsayısı Geçen ışın şiddeti Geçen ışın şiddeti Işığın dalga boyu Hall voltajı Hall katsayısı Yüzey taşıyıcı yoğunluğu Tanecik sınırı bariyer yüksekliği Fotoakım Aydınlatma şiddeti x

12 ÖZET CuGaTe 2 İNCE FİLMLERİNİN YAPISAL ELEKTRİKSEL VE OPTİK ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ Bu çalışmada I-III-VI grubu bileşiklerinden olan CuGaTe 2 kaynak malzeme olarak kullanılarak termal buharlaştırma metoduyla yarıiletken ince film üretilmiştir. Kaynak malzeme olarak kullanılan CuGaTe 2 bileşiği 1150 o C de sinterlenerek elde edilmiştir. Üretilen ince filmler büyütme sonrasında 100 o C ve 200 o C de tavlanmıştır. Elde edilen filmlerin elektriksel, yapısal ve optik özellikleri incelenmiş ve tavlama sıcaklığının bu özelliklere etkisi araştırılmıştır. X-ışını kırınım metoduyla üretilen yarıiletken filmlerin kristal yapısı incelenmiştir. Üretilen ince filmlerin elementel bileşimini belirleyebilmek için EDXA tekniği kullanılmıştır. Filmlerin elektriksel özelliklerini araştırmak için K aralığında sıcaklığa bağlı iletkenlik ve Hall etkisi ölçümleri yapılmıştır. İnce filmlerin optik duyarlılıklarını incelemek için ışık şiddetine bağlı fotoiletkenlik deneyi yapılmıştır. Yasak enerji band aralığını belirlemek için nm dalgaboyu aralığında UV- Vis spektrofotometre cihazı ile soğurma ölçümleri yapılmıştır. Sonuç olarak; tavlama sıcaklığının CuGaTe 2 ince filmlerinin elektriksel, yapısal ve optik özellikleri üzerine etkileri tartışılmış ve yorumlanmıştır. Anahtar Kelimeler: İnce Film, CuGaTe 2, Tavlama, Termal Buharlaştırma xi

13 SUMMARY INVESTİGATİON OF STRUCTURAL ELECTRİCAL AND OPTİCAL PROPERTİES OF CuGaTe 2 THİN FİLMS CuGaTe 2 semiconductor compound thin films which belong to I-III-VI family have been grown onto glass substrates by using thermal evaporation method and obtained films have been annealed at 100 o C and 200 o C temperatures. The CuGaTe 2 compound which was used as a source powder during the evaporation has been obtained by sintering at 1150 o C temperature. The effect of annealing temperature on the electrical, optical and structural properties of the films were investigated. The crystal structure of the semiconductor films were investigated by X-ray diffraction (XRD) method. In order to determine the elemental composition of the films EDXA technique has been used. The energy-band structure were determined by using a UV-Vis spectrophotometer in the nm wavelength range. Hall effect and temperature dependent conductivity measurements were used to determine electrical properties of the films in the temperature range of K. In order to study photosensitivity of the films, photoconductivity measurements depending on light intensity were carried out. As a conclusion, the effects of annealing temperature on the structural, optical and electrical properties of the CuGaTe 2 thin films were discussed and interpreted. Key Words: Thin Film, CuGaTe 2, Annealing, Thermal Evaporation xii

14 1. GİRİŞ Günümüz elektronik ve optoelektronik endüstrisinin temelini oluşturan yarıiletkenler ile ilgili çalışmalar 19. yy ın ortalarına kadar uzanmaktadır lı yıllarda ilk transistörün yapılmasıyla önem kazanan yarıiletkenlerin; fotodiyot, transistör, lazer, sensör, güneş pili, görüntüleme cihazları, askeri savunma sistemleri ve optik iletişim sistemleri gibi çok geniş bir uygulama alanı bulunmaktadır (Göde, 2007). İnce film teknolojisi, elektronik aygıtların minyatürizasyonuna imkan vermesi ve oldukça ekonomik avantajlara sahip olması nedeniyle büyük ilgi görmektedir. Yarıiletken filmler ilk olarak 1838 yılında elektroliz yöntemi ile elde edilmiştir. Daha sonra 1852 yılında kimyasal tepkime ve sıçratma (glow discharge sputtering) yöntemleri ile metal filmler üretilmiştir (Taner,2010). Günümüzde ise elektron demet epitaksi, elektron demeti ile buharlaştırma, termal buharlaştırma gibi modern yöntemlerle yarıiletken ince filmler üretilebilmektedir. Üretilen ince filmlerin elektronik ve optoelektronik uygulamalarda kullanılabilmeleri için yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinin belirlenmesi oldukça önemlidir. A I B III X VI üçlü bileşik sınıfına ait olan CuGaTe 2 ince filmleri çeşitli optoelektronik uygulamalarda önemli kullanım potansiyeline sahiptir. Özellikle direk geçişli bant aralığına sahip olması ve soğurma katsayısının büyük olması güneş pili uygulamalarında kullanımını cazip hale getirmektedir. Bunun yanısıra yüksek verimli ince film transistör, ışık yayan diyot (LED), gama ışın detektörleri, optoelektronik aygıt üretimi, kızıl ötesi optik, ışığa bağımlı direnç uygulamalarında yaygın olarak kullanılabilmektedir (Sesha Reddy ve ark., 1996; Bodnar ve ark., 1997; Oda ve ark., 2006). CuGaTe 2 kalkopirit bileşiğinin ince film fiziksel özellikleri, tek kristal özelliklerine göre daha az araştırılmıştır. CuGaTe 2 ince filmleri daha önce ani 1

15 buharlaştırma (flash evaporation) yöntemi, yavaş buharlaştırma yöntemi, atmalı lazer püskürtme yöntemi, üç kaynaktan buharlaştırma yöntemi gibi yöntemlerle elde edilmiştir (Sesha Reddy ve ark., 1996; Bodnar ve ark., 1997; Oda ve ark., 2006, Guha ve ark., 2002; Masse ve ark., 1993). Bu çalışmada termal buharlaştırma yöntemi ile elde edilen CuGaTe 2 ince filmleri incelenmiştir. 1.1 Önceki Çalışmalar 1995 yılında M. Sesha ve arkadaşları, ani buharlaştırma (flash evaporation) metoduyla 0,1 µm - 0,4 µm kalınlıklarında polikristal ince filmleri cam alttaş üzerine K sıcaklık aralığında üretmiştir. Filmlerin elementel kompozisyonu, enerji dağılımlı X-ışını analizi (EDXA) metoduyla araştırılmıştır. İnce filmlerin yapısal analizi X-ışını kırınımı metodu (XRD) ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile araştırılmıştır. Alttaş sıcaklığı 450 K den küçük olan filmlerin amorf yapıda olduğu gözlenmiştir K alttaş sıcaklığı ile üretilen filmlerin polikristal yapıda olduğu ve CuGaTe 2 fazıyla beraber Ga 2 Te 3 fazının bulunduğu gözlenmiştir. 573 K den daha büyük alttaş sıcaklığında üretilen filmlerin polikristal yapıda olduğu ve CuGaTe 2 fazına ilave olarak Cu 2 Te fazının bulunduğu gözlenmiştir K alttaş sıcaklık aralığında üretilen filmlerin polikristal yapıda olduğu ve sadece CuGaTe 2 fazını barındırdığı gözlenmiştir. Tanecik boyutunun nm aralığında olduğu ve alttaş sıcaklığının artması ile tanecik büyüklüğünün arttığı belirlenmiştir. 548 K alttaş sıcaklığında üretilen ince filmlerin sıcaklığa bağlı elektriksel iletkenlik ölçümlerinin analiz edilmesi ile yüksek ve düşük sıcaklık bölgelerinde sırasıyla 425 mev ve 125 mev olmak üzere iki aktivasyon enerjisi hesaplanmıştır. Soğurma ölçümlerinden yasak enerji aralığının farklı attaş sıcaklığında üretilmiş filmler için 1,21-1,24 ev aralığında değiştiği belirlenmiştir. Elde edilen ince filmlerin elektriksel özdirençlerinin (Ω.cm) aralığında değiştiği gözlenmiştir K alttaş sıcaklığında üretilen ve sadece CuGaTe 2 fazı bulunduran ince filmlerin elektriksel özdirençlerinin 10-2 (Ω.cm), mobilitelerinin 55 (cm 2 V -1 s -1 ) ve taşıyıcı yoğunluğunun 6x10 19 cm -3 olduğu belirlenmiştir (Sesha Reddy ve ark., 1996) yılında I.V. Bodnar ve arkadaşları atmalı lazer püskürtme (pulsed lazer spraying) yöntemi ile ürettikleri CuGaTe 2 ince filmlerinin yapısal ve optik özelliklerini araştırmışlardır. Farklı alttaş sıcaklıklarında ( K) ve farklı 2

16 kalınlıklarda (0,3-1µm) ince filmler üretilmiştir. Alttaş sıcaklığının artması ile ince filmlerin daha kristalize bir yapıya kavuştuğu ve optimum alttaş sıcaklığının K olduğu belirlenmiştir. Bu aralıkta alttaş sıcaklığında üretilen filmler kalkopirit yapıda olup, birim hücre parametreleri a=6,023 Å c=11,92 Å olarak bulunmuştur. Elektriksel ölçümler, filmlerin p-tipi iletkenliğe sahip olduklarını ve artan alttaş sıcaklığı ile özdirençlerinin azaldığını göstermiştir. 383 K alttaş sıcaklığında üretilen ince filmlerin özdirençleri 1-2 (Ω.cm) ve 690 K alttaş sıcaklığında üretilen filmlerin özdirençleri 4x10-2 (Ω.cm) olarak bulunmuştur. Beckman-5270 spektrometre ile 295 K sıcaklığında nm aralığında optik ölçümler yapılmıştır. Alttaş sıcaklığının artışı ile filmlerin yasak enerji aralıklarında E g1 =1,06-1,35 ev; E g2 =1,33-1,68 ev ve E g3 = 1,64-1,88 ev değişimleri gözlenmiştir (Bodnar ve ark., 1997) yılında P. Guha ve arkadaşları üç kaynaktan buharlaştırma metoduyla CuGaTe 2 ince filmlerini üretmiş, yapısal ve optik özelliklerini araştırmışlardır. İnce filmler 753K sıcaklığındaki cam alttaşlar üzerine 10-5 Torr basınç altında büyütülmüştür. Üretilen filmlerin Kristal yapısı X-ışını kırınımı (XRD) ve yüzey yapısı SEM (scanning electron microscope)/tem(transmission electron microscope) ile incelenmiştir. Filmlerin elementel bileşimi EDXA metodu ile belirlenmiştir. 80 K sıcaklıkta uyarıcı kaynak olarak Xe lamba (300 mw), 0,75 m monokromatör ve Hamamatsu fotoçoğaltıcı kullanılarak fotolüminesans ölçümleri yapılmıştır. XRD ölçümleri sonucunda (112) düzleminde güçlü kırınım desenleri elde edilmiştir. Optik geçirme ölçümlerinden elde edilen izinli direk ve izinsiz direk geçişlere sırasıyla 1,23 ev ve 1,69 ev enerjilerin karşılık geldiği belirlenmiştir. CuGaTe 2 ince filmlerinin fotolüminesans ölçümleri sonucunda 0,8 ev ve 1,32 ev a karşılık gelen iki belirgin pik elde edilmiştir (Guha ve ark., 2002). 3

17 2. YARIİLETKENLER 2.1 Giriş Katı haldeki maddeler genel olarak üç sınıfta incelenebilirler. Bunlar elektriksel iletkenlikleri en yüksek olandan en düşük olana doğru sırasıyla iletkenler (metaller), yarıiletkenler ve yalıtkanlar olarak sıralanabilir. İletken maddelerin elektriksel özdirençleri (Ω.m) aralığında değişirken, yarıiletkenler (Ω.m) aralığında ve yalıtkanlar (Ω.m) ye eşit veya daha büyük özdirenç değerlerine sahiptirler (Gündüz, 1999). Yalıtkan, yarıiletken ve iletkenleri karşılaştırmak için enerji bant yapıları göz önünde bulundurulabilir. Serbest bir atomda elektronların bulunabileceği kesikli enerji seviyeleri mevcuttur. Bu serbest atomlar katıyı oluşturmak üzere bir araya geldiklerinde elektronların dalga fonksiyonları üst üste binmeye başlar. Pauli nin dışarlama ilkesine göre tüm spin-çiftlenimli elektronların durumları izole atomdaki değerlerinden biraz daha farklı enerjiler elde ederler. Bu durumda M adet atom bir araya gelip etkileşirse aynı orbitalin 2M sayıdaki elektronu 2M sayıda durumu işgal edebilirler. Böylece elektronların bulunabileceği hemen hemen sürekli olan bir enerji aralığı oluşur. Oluşan bu yapı enerji bandı olarak adlandırılır (Pankove, J. I. 1971). Şekil 2.1 de iletken, yarıiletken ve yalıtkanlar için basit bir enerji bant şeması verilmiştir. 4

18 Şekil 2.1: (a) Yalıtkanlar, (b) yarıiletkenler ve (c) iletkenlerde basitleştirilmiş elektronik enerji bant yapısı ve 0 K sıcaklıktaki fermi enerji seviyeleri (Yacobi, 2003). Yalıtkanlarda değerlik bandı ile iletkenlik bandı birbirlerinden geniş bir yasak enerji aralığı ile ayrılmış durumda iken iletkenlerde değerlik bandı ile iletkenlik bandı üst üste binmiş (iç içe geçmiş) durumdadır. Yarıiletkenlerde ise değerlik bandı ile iletkenlik bandı birbirlerinden küçük bir yasak enerji aralığı ile ayrılmışlardır; öyle ki termal enerji ile elektronlar uyarılarak iletim bandına geçebilirler. Yarıiletkenlerin yasak enerji aralığı 0,2 4 ev aralığındadır (Özkan, 2010; Orton, 2004). Optik ve elektriksel özelliklerinin yalıtkan ve iletkenlerden farklı olması, yarıiletkenlerin yoğun bir kullanım alanı bulmalarını sağlamıştır. İletkenlerden farklı olarak yarıiletkenlerin elektriksel iletkenlik özellikleri değişik yollarla önemli ölçüde değiştirilebilmektedir. Uygun yabancı atom katkılamak, elektromanyetik ışımaya maruz bırakmak, manyetik alana maruz bırakmak bu yollardan bazılarıdır. Ayrıca iletkenlerde sıcaklık artışı ile elektriksel özdirenç artarken yarıiletkenlerde özdirenç üstel bir şekilde azalmaktadır. Tüm bu özellikler yarıiletkenleri elektronik ve optoelektronik alanlarında ilgi çekici hale getirmiş ve geçmişten günümüze birçok pratik uygulamanın geliştirilmesini sağlamıştır. Bu uygulamalardan başlıcaları diyot, transistör, entegre devreler, güneş gözeleri gibi elektronik alanında çok sık kullanılan vazgeçilmez uygulamalardır (Yacobi, 2003; Sze, 1985; Orton, 2004). 5

19 Yarıiletkenler element halinde bulunabilecekleri gibi bileşik halinde de bulunabilirler. En çok kullanılan ve bilinen yarıiletkenler periyodik tabloda IV. Grupta bulunan silisyum (Si) ve germanyum (Ge) elementleridir. En önemli bileşik yarıiletkenler periyodik tablonun IIIA ve VA grubundaki elementlerden oluşmaktadır. Galyum arsenik (GaAs), indiyum fosfat (InP), alüminyum arsenik (AlAs), indiyum arsenik (InAs) bunlara örnek olarak verilebilir. Benzer şekilde Al y Ga 1-y As gibi üçlü yarıiletken bileşiklerde oluşturulabilir. Burada y alüminyumun bileşikteki mol oranını belirtmektedir (K. F. Brennan,2005). 2.2 Katkılı ve Katkısız Yarıiletkenler Yarıiletkenlerde yük taşınımı hem elektronlar hem de boşluklar aracılığı ile yapılmaktadır. Saf yarıiletkenlerde elektron yoğunluğu ile deşik yoğunluğu birbirine eşittir çünkü herhangi bir şekilde enerji kazanan değerlik bandındaki bir elektron iletim bandına uyarılırken geride bir deşik bırakır. Bazı uygulamaların (diyot, güneş gözesi, transistör vb.) oluşturulabilmesi için tek tür taşıyıcının elektriksel iletimde etkin olduğu yarıiletkenlere ihtiyaç vardır. Bunun için yabancı element atomları yarıiletkene eklenerek tek tür taşıyıcının akım mekanizmasında baskın olduğu yarıiletkenler oluşturulurken, taşıyıcı konsantrasyonunun da artması sağlanır. Bu işleme katkılama (doping) denir (Ilgaz, 2005; H. J. Jenniches, 2001; M. Razeghi, 2009). N-tipi ve p-tipi olmak üzere iki tür katkılama mevcuttur. Katkılama yapılarak yarıiletken içerisinde oluşturulan akımın sadece elektronlar ya da sadece deşikler ile yapılabilmesi sağlanır. Gerçekte her iki tip yük taşıyıcısı da akıma katkıda bulunur ancak biri diğerine göre daha etkindir (Ilgaz, 2005; H. J. Jenniches, 2001; M. Razeghi, 2009). Değerlik elektron sayısı dört olan bir saf yarıiletkende iletim bandındaki elektronların sayısını arttırmak için son yörüngesinde beş değerlik elektronu bulunan bir element atomu katkılanması gerekir. Bu atomlara verici (donör) atomlar denir. Bu şekilde katkılanmış yarıiletkenlere akım taşıyıcılarının çoğunun elektronlar olması sebebiyle n-tipi yarıiletkenler denmektedir. N-tipi yarıiletkenlerde elektronlara çoğunluk taşıyıcılar, deşiklere de azınlık taşıyıcılar denmektedir (Ilgaz, 2005; H. J. Jenniches, 2001; M. Razeghi, 2009). 6

20 Saf yarıiletkenlerde değerlik bandındaki deşiklerin sayısını arttırmak için bu yarıiletkenlere değerlik elektron sayısı üç olan bir element atomu katkılamak gerekir Bu atomlara alıcı (akseptör) atomlar denir. Bu şekilde alıcı atomlarla katkılanmış yarıiletkenlere akım taşıyıcılarının çoğunun deşikler olması sebebiyle p-tipi yarıiletkenler denir. P-tipi yarıiletkenlerde deşiklere çoğunluk taşıyıcılar, elektronlara da azınlık taşıyıcılar denmektedir (Ilgaz, 2005; H. J. Jenniches, 2001; M. Razeghi, 2009). 2.3 Yarıiletkenlerde Taşıyıcı Yoğunluğu Yarıiletkenlerin elektriksel özellikleri, sahip oldukları yük taşıyıcılarının sayısı ile ilişkili olduğu için, taşıyıcı yoğunluğu yarıiletkenler için önemli bir özelliktir. Yarıiletkenlerde yük taşıyıcılar elektronlar ve deşiklerdir. Yarıiletkenlerde elektriksel iletkenlik sıcaklığa güçlü bir şekilde bağlıdır. 0 K sıcaklıkta yarıiletkenler iyi bir yalıtkan özelliği gösterirler. Termal enerji ile uyarılan elektronlar değerlik bandından iletim bandına geçerler ve arkalarında birer deşik (boşluk) bırakırlar. Sıcaklığın artması ile iletim bandındaki elektronların yoğunluğu ile değerlik bandındaki deşiklerin sayısı artar. Taşıyıcı sayısının belirlenmesi için istatistik hesaplamalardan yararlanılabilir. Elektronlar fermiyon oldukları için Pauli dışarlama ilkesine ve Fermi-Dirac istatistiğine uyarlar. Fermi-Dirac dağılım fonksiyonu enerjili bir kuantum durumunun bir elektron tarafından doldurulma olasılığını ifade eder (H. J. Jenniches, 2001). Fermi-Dirac fonksiyonu; [ ] şeklinde verilir. Burada fermi enerjisi ve boltzman sabitidir. Bu fonksiyonun enerji ile değişimi Şekil 2.2 de verilmiştir. 7

21 Şekil 2.2 : Fermi-Dirac dağılım fonksiyonu. olması durumunda denklem (2.1) Maxwell-Boltzmann dağılım fonksiyonuna indirgenebilir, yani; biçiminde yazılablir. ile + enerji aralığındaki izinli durumların yoğunluğu ise iletkenlik bandındaki elektronların yoğunluğu; şeklinde yasılabilir. Bu integral eşitliği daha basit bir forma; şeklinde indirgenebilir (H. Bube, 1960). Burada, iletim bandının alt seviyesi ve etkin durum yoğunluğudur. Yani, tümü iletkenlik bandının kenarında yerleşikmiş gibi kabul edilen iletkenlik bandındaki izinli durumları temsil eder. Bu durumda iletkenlik bandı ve değerlik bandının kenarındaki etkin durum yoğunluğu sırasıyla; 8

22 ve şeklinde verilir. Burada ve sırasıyla elektron ve deşiklerin etkin kütleleri, ise Planck sabitidir. Fermi seviyesinin iletim bandının birkaç kadar altında bulunduğunu farz edersek Fermi fonksiyonu; ( ) şekinde yazılabilir. Denklem (2.4) ü kullanarak iletkenlik bandındaki elektron yoğunluğunu; ( ) olarak yazabiliriz. Benzer şekilde değerlik bandındaki deşik yoğunluğunu; ( ) şeklinde yazabiliriz. Denklem (2.8) ve (2.9) da ifade edilen taşıyıcı yoğunlukları termal dengede olan saf ve katkılı yarıiletkenler için geçerlidir (Jenniches, 2001). 2.4 Yarıiletkenlerde Elektriksel İletkenlik Bir dış (V/cm) elektrik alanın uygulandığı herhangi bir maddede yüküne sahip olan akım taşıyıcılar büyüklüğünde bir kuvvete maruz kalırlar. Bu kuvvet etkisi altında hızı kazanan taşıyıcıların oluşturduğu akım yoğunluğu; şeklinde verilir. Burada (cm -3 ) taşıyıcı yoğunluğudur (Ohring, 1992). Malzeme üzerine uygulanan elektrik alan ile taşıyıcı hızı birbiriyle orantılıdır ve bu orantı; 9

23 şeklinde ifade edilir. Buradaki orantı sabiti ye mobilite denir. Mobilite taşıyıcının uygulanan alan altında ne kadar kolay hareket edebildiğinin bir ölçüsüdür ve taşıyıcı iletimi için önemli bir parametredir. Mobilite, birim elektrik alan başına taşıyıcı hızı (cm 2 /V.s) olarak tanımlanır (Ohring, 1992; Sze, 1985). Denklem (2.11) ve (2.10) u kullanarak; ve Ohm yasasını ( ) kullanarak; yazabiliriz. Burada iletkenlik ve da malzemenin özdirencidir (Ohring, 1992). Bir yarıiletkende akım elektron ve deşikler tarafından taşınır. Yarıiletken üzerine bir dış elektrik alan uygulandığında iletim bandındaki elektronlar uygulanan alana zıt yönde hareket ederken değerlik bandındaki pozitif yüklü deşikler ise alan ile aynı yönde hareket ederler. Malzeme içerisinde oluşan toplam akım yoğunluğu her iki tür taşıyıcının oluşturduğu akım yoğunluklarının toplamıdır ve ( ) biçiminde ifade edilir. Burada ve sırasıyla elektronların ve deşiklerin oluşturduğu akım yoğunluğudur. 10

24 Şekil 2.3 : Bir yarıiletkende elektrik alanın varlığında elektron ve deşiklerin hareket yönleri. Yarıiletkenin iletkenliği; ( ) ile verilir (Sze, 1985). Denklem (2.8), denklem (2.15) de yerine yazılırsa; ( ) şeklinde iletkenliğin sıcaklığa bağlılığını elde ederiz. Denklem (2.5) de görülebileceği gibi dir. Aynı zamanda de ile değişmektedir. Eğer mobilite düşük sıcaklıklarda sadece örgü titreşimlerinden etkileniyorsa sıcaklıkla değişimi ile orantılı olur (Ishii ve ark., 1986). Bu durumda denklem (2.16) yı; ( ) şeklinde yazabiliriz. Burada sabittir. nın ye karşı grafiğinin çizilmesiyle elde edilen eğrinin eğimi, aktivasyon enerjisinin hesaplanmasında kullanılabilir. Sıcaklığa bağlı iletkenlikten hesaplanan aktivasyon enerjisi 11

25 taşıyıcıların değerlilik bandından iletkenlik bandına geçişlerine, değerlilik bandından yasak enerji aralığındaki ara seviyelere ya da yasak enerji aralığındaki ara seviyelerden iletkenlik bandına termal olarak uyarılmaları sonucu geçişlerine karşılık gelebilir (H. Bube, 1960). 2.5 Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Amorf Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Amorf yarıiletkenlerde elektronik iletim sürecini açıklayabilmek için farklı modeller ileriye sürülmüştür. Bu modeller bant kuyruklarındaki lokalize olmuş durumları temel alır (Kaplan,1993). Şekil 2.4 : (a) Amorf katılar, (b) kristal katılar için durum yoğunluğunun şematik gösterimi (Şahin, 1999). Yarıiletkenlerde elektriksel iletim farklı sıcaklık bölgelerinde incelenebilir. Çok düşük sıcaklıklarda Fermi enerji düzeyinin altındaki tüm düzeyler doludur ve üst düzeylere geçiş mümkün değildir. Düşük sıcaklıklarda ısıl olarak uyarılan elektronlar sadece Fermi enerji düzeyi, nin hemen üstündeki boş yerelleşmiş enerji 12

26 düzeylerine sıçrama yolu ile uyarılarak iletkenliğe katkıda bulunurlar. Bu tür iletkenlik değişken mesafeli sıçrama iletkenliği olarak bilinir ve sıcaklığa bağlılığı; ifadesi ile verilir (Bostancı, 2006). Burada ve birer sabittir. İletim bandına uyarılan elektron yoğunluğu; şeklinde tanımlanır (Bostancı, 2006; M. H. Brodsky, 1985). Oda sıcaklığının üzerindeki sıcaklıklarda elektriksel iletkenlik mobilite kenarı, ve civarında meydana gelir ve iletkenlik; bağıntısı ile verilir. Burada sabittir. Fermi seviyesi ile iletkenlik bandı arasındaki enerji farkı aktivasyon enerjisi, olarak tanımlanırsa iletkenliğin sıcaklığa bağlılığı; şeklinde yazılabilir (Bostancı, 2006; M. H. Brodsky, 1985) Polikristal Yarıiletkenlerde İletim Mekanizmaları Polikristal yarıiletkenlerde elektriksel iletimi sağlayan genel olarak üç mekanizma mevcuttur. Bunlar farklı sıcaklık bölgelerinde baskın mekanizmalardır. Düşük sıcaklıktan yüksek sıcaklık bölgesine doğru baskın olan bu mekanizmalar sırasıyla sıçrama (hopping), tünelleme (tunelling) ve termoiyonik emisyon (thermionic emission) dur. 13

27 Termoiyonik Emisyon Polikristal yarıiletkenlerde yüksek sıcaklıklarda baskın olan elektronik iletim mekanizması termoiyonik iletim mekanizmasıdır. Yüksek sıcaklıklarda, iletkenlik bandında bulunan serbest taşıyıcılar termal enerji ile uyarılıp tanecik sınırı tarafından oluşturulan potansiyel engelini aşarak elektronik iletimi sağlayabilirler (Çolakoğlu, 2009). İletim mekanizmasını analitik olarak açıklayabilmek için değişik modeller önerilmiştir. Bunlara öncülük edenler; Volger (Volger, 1950), Petritz (Petritz, 1956), Berger (Berger, 1961; Berger ve ark. 1968) ve Seto (Seto ve ark. 1975; Seto, 1975) tarafından ileri sürülen modellerdir (Huş, 2006). Öne sürülen bu modeller içerisinde şimdiye kadar en geniş kapsamlı ve deneysel sonuçlarla en uyumlu olan model Seto tarafından Tanecik Sınırı Tuzaklama Modeli adıyla öne sürülen modeldir (Çolakoğlu, 2009). Bu model yarıiletkenin fiziksel yapısı, yük dağılım şeması ve enerji bant yapısını temel alır ve şu varsayımlara dayanır; i) Tanecikler birbirlerine benzerdir. ii) Yapı içerisinde homojen olarak dağılmış olan tek tip safsızlık atomu mevcuttur. iii) Tanecik sınırı kalınlığı ihmal edilebilecek kadar küçüktür ve yüzey yoğunluklu tuzak seviyeleri seviyesinde bulunmaktadır. iv) Başlangıçta nötr olan tuzaklar, taşıyıcıları tuzaklayınca yüklü hale gelirler. Seto nun hesaplamaları bir boyutlu, p-tipi bir yarıiletken için tanecik sınırı bölgesinde Poisson denkleminin çözümü ile başlar ve çözüm sonucunda; ( ) ifadesine ulaşılır. Burada enerjisi; valans bant kenarının potansiyelidir. Potansiyel bariyer 14

28 biçiminde ifade edilebilir. Tanecik sınırında ortalama taşıyıcı yoğunluğu; ( ) ( ) ( ) [ ( ) ] ve termoiyonik emisyon akım yoğunluğu da; ( ) ( ) [ ( ) ] şeklinde yazılabilir. Burada taneciğin uçları arasındaki potansiyel düşüşüdür (Çolakoğlu, 2009). Yeterince küçük değerleri için, ( ), iletkenlik ifadesi denklem (2.25) kullanılarak; ( ) şeklinde hesaplanır. İki katkılama bölgesini de göz önünde bulundurursak iletkenlik ifadesi denklem (2.24), denklem (2.26) da kullanılırsa; ( ) [ ] ve şeklinde hesaplanır. Her iki durum için Yük taşıyıcıların etkin mobilitesi; ( ) şeklinde verilir (Çolakoğlu, 2009). 15

29 Tünelleme İletim Mekanizması Termoiyonik emisyon polikristal yarıiletkenlerdeki birçok elektriksel özelliği açıklamaktadır. Ancak daha düşük sıcaklıklarda görülen doyum eğilimini açıklamak için yeterli değildir. Taşıyıcıların tanecik sınırlarında yüksek fakat dar potansiyel bariyerlerinden kuantum mekaniksel tünellemesi bir polikristal ince filmin özdirencini sınırlayan mekanizmalardan birisidir. Garcia ve ark. (Garcia at. Al, 1984) Şekil 2.5 de verilen enerji bant diyagramına sahip, kısmi olarak boşaltılmış tanecikler için In-katkılı CdS nin tanecik sınırı tünelleme akımını açıklayan bir model geliştirdiler ve enerji bariyer yüksekliğinin; olduğunu buldular. Burada tuzak yoğunluğu ve taşıyıcı yoğunluğudur. Şekil 2.5 : Bir polikristal yarıiletkenin enerji bant diyagramı (Huş, 2006). enerjili taşıyıcıların bu bariyerden geçiş olasılığı; ( ) 16

30 şeklinde hesaplanabilir. Tünelleme akım yoğunluğu için uygun bir ifade Simmons (Simmons, 1963) tarafından hesaplandı. Net akım, +x yönüne ve x yönüne doğru olan akımların toplamıdır ve; ( ) biçiminde elde edilir. Burada taşıyıcıların etkin kütlesi ve olmak üzere; bariyer genişliği, ortalama bariyer yüksekliği, da 0 K sıcaklıktaki tünelleme akım yoğunluğu ve ( ) dir. Eğer tanecik boyu L ise iletkenlik kullanılarak hesaplanabilir. nin küçük değerleri için; [ ( ) ] şeklinde ifade edilebilir (Huş, 2006) Sıçrama (Hopping) İletim Mekanizması Bir yarıiletkende düşük sıcaklıklarda, iletim bandının altındaki uzanmış (extended) durumları dolduran yük taşıyıcılarının yoğunluğu elektronik iletimi kontrol edebilecek kadar büyük değildir. Oda sıcaklığının çok altındaki sıcaklıklarda polikristal bir yarıiletkende termoiyonik emisyon ve tünelleme, elektriksel iletime çok küçük bir katkıda bulunur ve bu sıcaklıklarda baskın iletim mekanizması, 17

31 sıçrama (hopping) iletim mekanizmasıdır (Huş, 2006). Bu yük taşınma mekanizmasının baskın olduğu sıcaklık bölgesinde, taşıyıcılar rastgele dağılmış olan yerel durumlar arasında sıçrıyormuş gibi bir seri tünelleme geçişi gerçekleştirir. Yük taşıyıcılarının lokalize durumlar arasındaki bu hareketi elektronik iletime belirgin bir katkıda bulunabilir ve baskın akım mekanizması olan sıçrama (hopping) iletim mekanizmasını oluşturur (Çolakoğlu, 2009). Bu iletim mekanizması için Mott ve Davis başarılı bir model geliştirmiştir (Huş, 2006). Şekil 2.6 : (a) İletkenlik bandı ile valans bandı arasındaki doldurulmuş (düz çizgi) ve boş (noktalı) lokalize durumlar. (b) Taşıyıcıların iletim bandına uyarılması (c) Sıçrama İletimi (Huş, 2006). Mott (Mott, 1968) tarafından değişken erimli sıçrama mekanizması için hesaplanan iletkenlik ifadesi; [ ( ) ] şeklindedir. Burada boyutsuz bir sabit olmak üzere; ve 18

32 ( ) dir (Huş, 2006). 2.5 Yarıiletkenlerde optik Soğurma Bir yarıiletkenin bant yapısını belirlemek için kullanılan en yaygın ve en basit yöntem, yarıiletkenin soğurma spektrumunu incelemektir. Soğurma, bir malzemenin içerisindeki yük taşıyıcılarının üzerlerine düşen elektromanyetik dalgalarla etkileşmesi sonucu ortaya çıkan enerji kaybı olarak tanımlanmaktadır (Akaltun, 2006; Ilıcan ve ark. 2005). Şekil 2.7: Elektronmanyetik radyasyonun soğrulması (Çelik, 2006). kalınlıklı bir maddeden geçerken Kalınlığı olan bir numunenin üzerine şiddetli ışın gönderilirse, bu ışın şiddeti ile numuneyi geçecektir. ile arasındaki bağıntı; şeklinde verilir. Burada lineer soğurma katsayısıdır. Soğurma sürecinde enerjisi belli bir foton bir elektronu daha yüksek bir enerji seviyesine uyarır. Bu nedenle soğurma spektrumu, yarıiletkenin yasak enerji aralığı ve bant tipi hakkında bilgi verebilir. Yarıiletkenlerde bant yapısından dolayı soğurma olayı farklı şekillerde gerçekleşebilmektedir. Bunlar temel soğurma olayı, eksiton soğurması, serbest yük taşıyıcılarının soğurması, katkı atomlarının soğurması 19

33 şeklinde sıralanabilir. Bu soğurma olaylarından bazıları aynı anda gerçekleşebilir. Yarıiletkenlerin bant yapılarını belirlemek için kullanılan en yaygın yöntem temel soğurma metodudur (Akaltun, 2006). Temel soğurma olayında, yarıiletkenin üzerine düşen bir fotonun enerjisi yasak enerji aralığına eşit ya da yasak enerji aralığından daha büyük ise bu foton valans bandındaki bir elektronu uyararak iletim bandına geçmesine neden olur. İletim bandına geçen bu elektron geride bir deşik bırakır ve bir elektron-deşik çifti oluşturulur (Bube, 1960). Temel soğurma olayı Şekil 2.8 de görülmektedir. Temel soğurma, kendisini soğurma spektrumunda hızlı bir artış şeklinde göstermektedir. Şekil 2.8 : Yarıiletkenlerde temel soğurma spektrumu (Akaltun, 2006). Optik soğurma dolaylı ve dolaysız olmak üzere iki farklı şekilde gerçekleşmektedir. Doğrudan soğurma doğrudan bant yapısına sahip yarıiletkenlerde görülür. İletim bandının minimumu ile valans bandının maksimumu enerji momentum uzayında aynı k dalga vektörü üzerinde ise ( ) bu tür geçişlere doğrudan bant geçişi denmektedir (Ilıcan ve ark. 2005). 20

34 Şekil 2.9 : Doğrudan bant aralıklı kristallerin bant yapısı (Kittel,1996). Doğrudan geçişlerde eksiton oluşumu ve elektron-deşik etkileşimleri göz önüne alınmazsa soğurma katsayısı nın gelen fotonun enerjisine bağımlılığı; şeklinde verilmektedir. Buradaki değeri; ( ) ile verilir. değeri doğrudan izinli geçişler için 1/2, izinsiz doğrudan geçişler için 3/2 değerlerini alabilen bir sabittir (Ilıcan ve ark. 2005; Pankove, 1971). Bir yarıiletkende, iletim bandının minimumu ile değerlilik bandının maksimumu enerji momentum uzayında aynı k dalga vektörü üzerinde ise ( ) bu tür geçişlere doğrudan bant geçişi denmektedir (Ilıcan ve ark. 2005). Dolaylı geçişlerde enerji korunur ancak momentumun korunması için sürece bir fononun katılması (soğrulması ya da salınımı) gerekir. Fonon soğurmalı geçiş için soğurma katsayısı; 21

35 ve fonon salınımlı geçiş için soğurma katsayısı; ile verilir. Hem fonon soğrulması hem de fonon salınımı olması durumunda soğurma katsayısı; şeklinde verilir (Pankove,1971). Şekil 2.10 : Dolaylı bant aralıklı kristallerin bant yapısı (Kittel,1996). 2.6 Fotoiletkenlik ve Rekombinasyon Mekanizması Fotoiletkenlik, foton soğrulması ile serbest yük taşıyıcılarının sayısındaki artış sonucu elektriksel iletkenlikteki değişme olarak tanımlanmaktadır (Çolakoğlu, 2009). Elektriksel iletkenlikteki bu değişim, yarıiletken üzerine düşen ışığın şiddetine, yük taşıyıcılarının yaşam sürelerine, optik bant aralığına ve yasak enerji aralığında bulunan tuzak seviyelerinin yoğunluğuna bağlıdır (Gündem, 2001). Aydınlatılan bir yarıiletkenin elektriksel iletkenliğinde optik soğurma sonucu oluşan değişim yani fotoiletkenlik; 22

36 ( ) olup, ve sırasıyla elektronların ve deşiklerin mobiliteleri, ve sırasıyla elektron ve deşik yoğunluğundaki değişimdir (Şahin, 1999). Yeniden birleşme, genellikle safsızlık seviyeleri veya kusur seviyeleri üzerinde gerçekleşir. Bu durumlar lokalize elektronik durumlardır ve yük taşıyıcıları için tuzak seviyeleri şeklinde davranırlar. Bu seviyelerden birine geçen bir yük taşıyıcı elektronik iletime katkıda bulunamaz. Ancak yük taşıyıcı bu banttan geri salınabilir ve değerlilik bandına geri gidebilir. Eğer bu seviyedeki bir taşıyıcının zıt işaretli bir taşıyıcı ile yeniden birleşme olasılığı, banda geri dönme olasılığından daha büyük ise bu seviyelere yeniden birleşme (rekombinasyon) merkezi denir. Tersi durum için, yani serbest kalma olasılığı zıt işaretli bir taşıyıcı ile yeniden birleşme olasılığından daha büyükse bu seviyeler tuzak (trap) seviyeleri olarak adlandırılır (H. Bube,1960). Termal denge koşulları altında; ve şeklinde yazılabilir. Burada G taşıyıcı üretim hızıdır ve birim zamanda birim hacimde üretilen taşıyıcı (elektron ve deşiklerin) miktarını gösterir. ve sırasıyla elektron ve deşiklerin yaşam süreleridir. Fotoakım,, taşıyıcı üretim hızına; şeklinde bir üstel ilişki ile bağlanabilir (Rose, 1978). Bu tip tamsayı olmayan kuvvet terimini monomoleküler ve biomoleküler süreçlerin bir karışımına bağlı olarak açıklamak mümkündür. Klasik olarak fotoakımın uyarıcı ışık şiddetine bağlılığı, kristal yapılı katılarda iyi bilinen bir süreçtir. Tek tip bir yarıiletken göz önünde bulundurulur. Işıkla uyarım sonucu ekstra elektron yoğunluğu oluşmuş ise malzemenin termal dengede olduğunu ve yük nötralliğinin olduğunu kabul edersek; [ ] 23

37 elde edilir. Bu ifade taşıyıcı üretim hızına ( ) ve dolayısı ile uyarıcı ışık şiddetine bağlılığı hakkında bilgi verir. bölgesinde; olur ve foto akım, uyarılma şiddeti ile lineer olarak değişir. durumunda ise; olur ve fotoakım ışık şiddetinin karekökü ile orantılı hale gelir (Gölcür, 2012). 2.7 Yarıiletken İnce Film Büyütme İşlemi Bilimsel çalışmalarda ve teknolojik uygulamalarda kullanılmak üzere üretilen ince filmler termal buharlaştırma, elektron demeti ile buharlaştırma, sol-gel, elektrokimyasal kaplama, moleküler demet epitaksi gibi değişik birçok yöntemle elde edilebilmektedir. İnce filmin fiziksel özellikleri hazırlanma yöntemine güçlü bir şekilde bağlıdır. Bu çalışmada ince film üretimi için termal buharlaştırma yöntemi kullanılmıştır Termal Buharlaştırma Yöntemi Termal buharlaştırma yöntemi, yüksek vakum altında katı haldeki bir malzemenin ısı etkisiyle buharlaştırılması işleminin yapıldığı ince film üretme yöntemidir. Buhar halindeki tanecikler alttaş üzerine gider ve burada soğuyarak tekrar katı hale gelir. Bu şekilde taneciklerin üst üste eklenmesiyle istenilen kalınlıkta ince film elde edilir (Aksoy, 2011). Şekil 2.11 de termal buharlaştırma sistemi şematik olarak gösterilmiştir. 24

38 Şekil 2.11 : Termal buharlaştırma sisteminin şematik gösterimi (Özkan, 2010). Bu çalışmada incelenen CuGaTe 2 ince filmlerin büyütüldüğü Vaksis PVD-Handy termal buharlaştırma sistemi Şekil 2.12 de görülmektedir. Bu sistemde filmler bilgisayar programına bağlı olarak kontrollü bir şekilde büyütülmektedir. Sistem; vakum çemberi, mekanik ve difüzyon pompaları, yüksek akım düşük voltajlı bir devre, hava kompresörü ve bir su soğutma sisteminden oluşur. Şekil 2.12 : Termal buharlaştırma sistemi (Gölcür 2012). 25

39 Termal buharlaştırma sistem tasarımı üç ana birimden oluşmaktadır: a) Vakum Çemberi: Bu birim pompa istasyonu ve basınç ölçüm sisteminden oluşan vakum çemberidir. Şekil 2.13 : Paslanmaz çelik vakum çemberi. b) Büyütme Kaynakları ve Kontrolleri: bu ünite termal buharlaştırmayı oluşturan alt öğeleri içerir (Şekil 2.14). Şekil 2.14 : Termal buharlaştırma sisteminin vakum alt birimleri (şematik) 1) Vakum çemberi, 2) DC motor, 3) ISO 100 gözlem penceresi (View Port), 4) Alttaş tutucu, 5) Isıtıcı, 6) Kesici (shutter), 7) Kalınlık monitör başlığı, 8) Basınç ölçüm başlığı (Compact Full Range Gauge Head), 9) Çemberin atmosfer anahtarı, 10) Turbo pompa vakum kırma vanası, 11) Turbo pompa, ) Termal buharlaştırma güç kaynakları. 26

40 c) Elektronik Cihaz Kabini : Bu birim bilgisayar ve büyütme kaynakları kısmında açıklanan öğelerin elektronik kontrollerinden oluşur (Şekil 2.15). Şekil 2.15 : Termal buharlaştırma sisteminin elektronik kabin ünitesi 1) Kontrol bilgisayarı, 2) Ampermetreler ve termal buharlaştırma güç kaynakları göstergeleri, 3)Turbo pompa kontrolör, 4) Sıcaklık PID kontrolör, 5) Ana şalter, 6) Aç/Kapa Anahtarları. Termal buharlaşma yönteminde kaplanacak olan kaynak malzeme erime sıcaklığı oldukça yüksek olan metallerden (W, Mo, Ta gibi) yapılmış potalara konularak vakum çemberinin içine yerleştirilir. Daha sonra basınç 5x Torr un altına düşürülür. Basıncı çift pompa kullanarak 1x10-5 Torr veya daha düşük bir seviyeye indirmek mümkündür. İstenilen basınca ulaşıldığında kaynak malzemeyi ısıtma işlemi, malzemenin yerleştirildiği potanın bağlı olduğu iki elektrot arasına elektrik gerilimi uygulanarak sağlanır. Üzerinden geçen yüksek akım ( A) aracılığı ile pota içerisine yerleştirilen malzeme buharlaştırılır. Vakum çemberi düşük basınçta olduğu için kaynak malzemeden buharlaşarak ayrılan atom ve moleküller bölmenin üst tarafında bulunan döner tabana ulaşır ve homojen film oluşum süreci başlar. Akım değiştirilerek Å/s lik bir hızla büyütme (deposition) sağlanır. Vakum, moleküllerin bölmede serbestçe yol almasını sağlamak için gereklidir ve buharlaşan malzeme hedef yüzeyde yoğunlaşır. Bu prensip bütün buharlaşma teknolojileri için geçerlidir, sadece kaynak malzemeyi ısıtma yöntemi değişiklik gösterir (Gölcür, 2012).

41 3.DENEYSELYÖNTEM 3.1 CuGaTe 2 Bileşiğinin Oluşturulması Polikristal yarıiletken CuGaTe 2 bileşikleri 1150 o C de sinterlenerek üretilmektedir. Bu çalışmada termal buharlaştırma sisteminde kaynak malzeme olarak kullanılan CuGaTe 2 külçe malzemeler kuvartz cam tüplerin içerisinde üretilmiştir. Kuvartz cam tüpler sentezleme esnasında içerisindeki malzemeler ile kimyasal tepkimeye girmemesi ve erime noktaları bu malzemelerden daha büyük olduğu (yaklaşık 2000 o C) için tercih edilmiştir. Kuvartz tüpler, içlerindeki toz, yağ ve metalik kirlerden arındırmak için temizleme işleminden geçirilmiştir. Öncelikle yağ ve tozları temizlemek için tüpler deterjan ve sıcak saf su ile yıkanmıştır. Daha sonra metalik kirliliklerden arındırmak için %40 lık HNO 3 (nitrik asit) çözeltisinde iki saat bekletilmiştir. Hemen sonrasında deterjan ile temizlenip saf suyla durulanmıştır. Durulama işleminden sonra 30 dakika izopropil alkolde bekletilmiştir. Tüp içerisinde kalmış olması muhtemel safsızlıkları çıkarabilmek için son olarak tüpler 10-5 Torr luk basınç altında ısıtılmıştır (Karabulut, 2003). CuGaTe 2 bileşiğini oluşturmak için %99,99 saflıkta bakır (Cu), galyum (Ga) ve teler (Te) elementleri molar ağırlıklarına göre 1:1:2 oranında tartılarak temizlenmiş olan kuvartz tüplere yerleştirilmiştir. Tüpler 1x10-5 Torr luk basınca kadar pompalanmış ve bu basınç altında iken tüplerin ağzı eritilerek kapatılmıştır. 28

42 Şekil 3.1 : Yatay fırın ve kuartz tüpler içinde sentezlenen numuneler. Vakumda iken ağzı kapatılan tüp bileşik oluşturmak için yatay fırın içerisine yerleştirilmiştir. Elementlerin tamamen erimesi ve bileşiğin oluşabilmesi için 1150 o C ye kadar kontrollü bir şekilde (~10 o C/saat) ısıtılmıştır. Sıvı halde bulunan bileşiğin homojenliğini sağlamak için kuvartz tüp belirli aralıklarla çalkalanmıştır. Kristal oluşumu sağlandıktan sonra yavaş yavaş kontrollü bir şekilde oda sıcaklığına inilerek bileşik oluşturulması tamamlanmıştır. Kuvartz tüp içerisinden çıkarılan külçe halindeki bileşiği termal buharlaştırma sisteminde kullanıma uygun hale getirebilmek için Şekil 3.2 de görüldüğü gibi agat havanda toz haline getirilmiştir. Şekil 3.2 : Külçe halinde sentezlenen numunenin agat havanda toz haline getirilmesi. 3.2 CuGaTe 2 İnce Filmlerinin Elde Edilmesi CuGaTe 2 ince filmleri 10 mm 2 boyutundaki lamel camlar üzerine büyütülmüştür. Büyütme işleminden önce alttaş olarak kullanılan bu camlar temizlik işleminden 29

43 geçirilmiştir. Öncelikle üzerlerindeki kaba kirden arındırmak için deterjanı suda yıkanmış sonrasında deterjanı gidermek için ultrasonik banyo yardımıyla saf su dolu beherler içerisinde 30 dakika boyunca çalkalanmıştır. Yüzeyde kalmış olabilecek organik maddeleri temizlemek için %30 seyreltilmiş H 2 O 2 (hidrojen peroksit) kaynar çözeltisinde çalkalanarak organik kirler suda çözünebilir bileşiklere dönüştürülmüştür. Alttaş temizliğinin son adımı olarak camlar ultrasonik banyoda su dolu beherlerin içerisinde ayrı ayrı çalkalanmıştır. Temizlenmiş olan camlar saf su içinde saklanmış ve büyütmeden hemen önce sıcak hava üflenerek kurutulmuştur (Yılmaz, 2004). CuGaTe 2 ince filmlerini büyütme işlemi Vaksis PVD Handy termal buharlaştırma sisteminde yapılmıştır. Vakum çemberi içerisine, hazırlanmış olan alttaşlar ve kaynak malzemeyi taşıyan potalar yerleştirilerek çember kapatılmıştır. Vakum çemberi 10-5 torr luk basınca ulaşıncaya kadar vakuma alınmış ve sistem kaplama yapmaya hazır hale getirilmiştir. Kesici (shutter) kapalı konumda iken kaynak malzemenin içerisinde bulunduğu pota üzerinden yavaş yavaş akım geçirilmiş ve buharlaşma hızı takip edilmiştir. Buharlaşma hızı (Å/s) değerinde iken kesici açılarak kaynak malzemeden buharlaşan atomların alttaşların üzerine yapışması sağlanmıştır. Büyütme sırasında alttaşlar döndürülerek filmlerin daha homojen bir yapıda olmaları sağlanmıştır. Alttaşların üzerinde oluşan filmin kalınlığı istenilen değere ulaştığında kesici (shutter) kapatılmış ve büyütme işlemi sonlandırılmıştır. Elde edilen ince filmlerin kalınlığı 0,68 m dir. Şekil 3.3 : Termal buharlaşma sisteminde akım uygulanan pota içerisindeki malzemenin buharlaşma görüntüsü. 30

44 Vakum çemberinden çıkarılan ince filmler yatay fırında 100 o C ve 200 o C de tavlanmıştır. Tavlama işlemi sırasında ortama azot gazı verilerek filmlerin oksijen ile olan teması kesilmiş, böylece filmlerin oksijenle reaksiyona girmeleri (oksitlenmeleri) engellenmiştir. Tavlama işlemi ile filmlerin daha düzenli bir yapıya kavuşması ve dolayısı ile elektriksel ve optik özelliklerinde değişim olması amaçlanmıştır. Sonuç olarak tavlanmamış, 100 o C ve 200 o C de tavlanmış CuGaTe 2 ince filmler elde edilmiştir. Elde edilen bu ince filmler kullanım kolaylığı için sırasıyla kısaca CGT, CGT-100 ve CGT-200 şeklinde isimlendirilecektir. Elde edilen ince filmler özellikleri ile birlikte Tablo 3.1 de verilmiştir. Tablo 3.1: Üretilen ince filmlerin genel bilgileri. Kaynak Bileşik Tavlama Sıcaklığı İsimlendirme Kalınlık CuGaTe 2 - CGT 0,68 m CuGaTe o C CGT-100 0,68 m CuGaTe o C CGT-200 0,68 m 3.3 Omik Metal Kontakların Elde Edilmesi Elde edilen numunelerin elektriksel parametrelerinin ölçülebilmesi için omik kontağın yapılması gerekmektedir. Numune yüzeyinden ölçüm sistemine bağlantılar bu kontaklardan yapılır. Elektriksel ölçüm sırasında numune üzerinde oluşacak potansiyel düşmesi, kontaklar üzerinde oluşacak potansiyel ile karşılaştırıldığında omik kontaklar üzerindeki potansiyel düşmesi ihmal edilebilecek kadar küçük olacaktır (Cankuş, 2007). Omik kontağın şu şartları sağlaması gerekmektedir; i) Kontakların akım gerilim karakteristikleri doğrultucu olmamalıdır, yani kontak direnci akım yönüne bağlı olmamalıdır ve akım-voltaj değişimi çizgisel (lineer) olmalıdır. ii) Kontak direnci akımın değerine bağlı olmamalıdır. iii) Kontak direnci yarıiletkenin direncine göre ihmal edilebilecek boyutta olmalıdır. iv) Kontaktan akım geçerken gürültü olmamalıdır. v) Kontak malzemesi yarıiletken ile mekanik olarak iyi birleşmelidir (Gölcür, 2012). 31

45 İnce filmlere termal buharlaştırma sistemiyle indiyum (In) kullanılarak omik kontaklar yapılmıştır. Kontakların yapılabilmesi için özel olarak hazırlanmış maskeler kullanılmıştır. Hazırlanan maskeler Şekil 3.4 de şematik olarak gösterilmiştir. a) b) Şekil 3.4 : Omik kontak maskesi (a) Şerit, (b) Van der Pauw geometrisi. 3.4 Elektriksel İletkenlik Ölçüm Sistemi Elektriksel iletkenlik sistemi Keithley-2400 kaynak-ölçüm cihazı, azot soğutmalı Janis marka kriyostat, Lake Shore 331 sıcaklık kontrol ünitesi ve Pfeiffer marka D model vakum pompasından oluşmaktadır. Hazırlanmış olan numunelerin sıcaklığa bağlı elektriksel iletkenlik ölçümlerinin yapılması için numune kriyostatın içerisine yerleştirilir ve kriyostat vakuma alınır. İstenilen vakum seviyesine ulaşınca (1x10-3 Torr) sıvı azot yardımıyla sistemin soğuması sağlanmaktadır. İstenilen sıcaklığa ulaşıldığında bilgisayar yardımı ile deney başlatılır. Bilgisayar programı ile deneyin otomasyonu sağlanır ve gerekli parametrelerin girilmesinden sonra ölçümler bilgisayar tarafından kontrol edilmektedir. Numuneye sabit akım verilerek farklı sıcaklıklarda numune üzerinde oluşan gerilim değerleri ölçülür. Ölçüm sonucu elde edilen veriler; filmlere ait direnç, özdirenç, iletkenlik değerlerin hesaplanması ve bunların sıcaklığa bağlı değişimlerinin incelenmesine olanak sağlamaktadır. 32