SUFEFD (2015), 41: İNFRARED DEDEKTÖRLERE GENEL BİR BAKIŞ. Raşit AYDIN

Transkript

1 REVIEW SUFEFD (015), 41: SELÇUK ÜNİVERSİTESİ FEN FAKÜLTESİ FEN DERGİSİ İNFRARED DEDEKTÖRLERE GENEL BİR BAKIŞ Raşit AYDIN Slçuk Ünivrsitsi, Fn Fakültsi, Fizik Bölümü, Konya-TURKEY -mail: (Gliş:11 Mayıs 015; Düzltm:6 Mayıs 015; Kabul:0 Haziran 015) Özt: Bu çalışmada, ddktör malzmlrinin türlri, özlliklri v ürtim tkniklriyl ilgili bir litratür araştırması yapılmıştır. İnfrard ddktör tknolojisi v glişimlri il ilgili çalışmalar ortaya konulmuştur. Ayrıca infrard sistmlr v ddktörlr gözdn gçirilmiş v infrard bölgd ortaya konan yni v n son glişmlr ortaya konulmuştur. Anahtar klimlr: İnfrard Ddktör, İnfrard Radyasyon, Kuantum Kuyu Kızılötsi Fotoddktör. AN OVERVIEW OF INFRARED DETECTORS Abstract: In this work, w hav carrid out a litratur survy on th kinds and proprtis of matrials which ar spcially usd to produc dtctors. Infrard dtctor tchnology and som procsss for such dvlopmnts in litratur hav bn prsntd. On th othr hand, infrard systms and dtctors hav bn outlind and som nw and latst dvlopmnts in infrard rgion of spctrum hav bn dmonstratd. Kywords: Infrard Dtctor, Infrard Radiation, Quantum Wll Infrard Photodtctor. 1. Giriş Günümüz bilim dünyasında ddktörlr oldukça önmli bir yr tutmakta v buna parall olarak, ddktörlrin kullanım alanlarıyla brabr kullanım özlliklri v şkillri d dğişmktdir. Günümüzd mühndislik bilimi bulunduğu noktada, fiziksl özlliklri ürtim aşamasında blirlnn malzmlr kullanarak ddktör tknolojisinin kullanım alanlarını gnişltmk vya yni ilri tknoloji özlliklrin sahip malzmlr v bu malzmlr dayalı ddktör sistmlri ürtbilmktir. Günümüzd ddktörlr tknolojid pk çok yrd (spktroskopi, astronomi, otomotiv ndüstrisi, tıp, habrlşm sistmlri, savunma sanayisi, ziraat v diğrlri) kullanılmaktadır. Ddktörlrin kullanım alanlarının v uygulamalarının çokluğu v birçok uygulamalarda oldukça hassas ölçümlr grkmsi ndniyl bu cihazlar, nanoölçk mrtbsindki çok küçük dğişimlri algılayabilck hassasiytlrd ürtilmktdirlr. İnfrard (IR) ddktör tknolojisindki ilrlmlr, başlıca foton ddktörlrinid için alan yarıiltkn infrard ddktörlrin daha hassas v güvnli ürtimini sağlamıştır. İnfrard ddktörlrin glişim tarihi, 1800 yılında Hrschl tarafından infrard radyasyonun kşfi il başlar (Razghi, 1996). İnfrard dalgalar, lktromagntik radyasyonun n yaygın tknolojik kullanım olanağı bulan kısmıdır. İnfrard ddktörlrin glişimin bakılacak olursa ilk olarak, Hrschl dnyind günş ışığı 55

2 An ovrvıw of infrard dtctors 56 nrjisinin dağılımını ölçbilmk için ddktör olarak basit bir trmomtr kullanan bir monokromatör yaptı. Bu trmomtr, 1. Dünya Savaşına kadar infrard ddktör alanında kullanılan ddktörlrin ilki v gnl tipidir. Foton ddktörlri 0. yy da gliştirildi v infrard ddktörlr bu ddktörlrin bulunuşu il olağanüstü bir glişm sağladı. İlk infrard fotoiltkn, Cas tarafından 1917 yılında ürtildi. Daha sonra 1933 yılında, Brlin Ünivrsitsind, Kutzschr, kurşun sülfatın bir fotoiltkn olduğunu v cvabının 3 m olduğunu kşftti (Rogalski v Chrzanowski, 00). İkinci dünya savaşı yılları modrn infrard tknolojisinin başlangıcı olarak görülür. Bu dönmd foton-infrard tknolojisi, yarıiltkn malzm bilimiyl birlşti. Soğuk savaş dönmind IR tknolojisind olağanüstü glişmlr sağlandı. İlk katkılı fotoiltkn ddktörlr, 1950 yılında ürtildi. İlk yüksk prformanslı katkılı ddktörlr için malzm olarak grmanyum (G) kullanıldı. Katkılı fotoiltkn ddktörlr 10 m dalga boyu civarında oldukça yaygın olarak kullanılmaktadır. Yaklaşık 10 yıllık bir zaman sonunda katkılı silisyum ddktörlrd katkılı fotoiltknlr malzm olarak kullanılmaya başlandı. Silisyum, grmanyumdan daha avantajlı olduğu için (yüksk kuantum vrimi) 1973 yılında Stphrd v Yong, Schottky bariyr ddktörlrd silisyum kullanmayı önrdi (Rogalski v Piotrowski, 1988). Aynı zamanda, duyarlık v uzun dalga boyu ddksiyonu noktasında katdiln hızlı glişmlr, dar band aralıklı malzmlr kullanılarak ld dilmiştir. Bu amaçlı ilk malzm III v V birlşiklriyl ld diln yarıiltkn InSb dir lrin sonunda v 1960 ların başlarında is malzm olarak III-V (InAsSb), IV-VI (PbST) v II-VI (HgCdT) dar nrji aralığına sahip yarıiltkn alaşımlar kullanılmaya başlandı yılında Lawson un araştırmaları sonucunda, infrard ddktör glişimind olağanüstü bir glişm Hg 1-x Cd x T (HgCdT) alaşımlarının ld dilmsiyl sağlanmıştır (Rogalski, 00). Bu alaşımlar dğişkn bant aralıkları sağlamak gibi bir üstünlük ortaya koymaktadır. Dar band aralıklı yarıiltknlrin tml özlliklri; yüksk optiksl soğurma katsayısı, yüksk lktron mobilitsi v düşük trmal ürtim hızıdır. Bu özlliklri bu alaşım sistmini idal bir malzm konumuna taşımaktadır. Günümüzd HgCdT, dğişkn aralıklı yarıiltkn ddktör yapımında yaygın bir şkild kullanılmaktadır. Son zamanlarda gliştiriln infrard ddktör türlrindn birid kuantum kuyulu kızılötsi fotoddktörlridir (QWIP). İnfrard radyasyonun için, infrard ddktörlrd kuantum kuyularının kullanılması fikri ilk kz 1977 yılında Esaki v Sakaki tarafından ortaya konulmuştur (Lvin, 1993). Kuantum kuyulu infrard fotoddktörlrd n çok kullanılan malzm GaAs/AlGaAs tır. Bu ddktörlr günümüzd trmal algılama yapmak için oldukça yaygın bir şkild kullanılmaktadır. Bu çalışmanın tml konusu, ddktör malzmlrinin türlri, özlliklri, ürtim v analiz tkniklriyl ilgili bir litratür araştırması yapmak v bu tkniklr dayalı olarak yni malzmlr ürtilmsi v bu malzmlrdn faydalanılarak yni ddktör sistmlri gliştirilmsi doğrultusunda nlrin yapılabilcğini ortaya koymaktır. Ayrıca infrard ddktör tknolojisi v glişimlri il ilgili çalışmalar ortaya konulacaktır. İnfrard sistmlr v ddktörlr gözdn gçirilck v infrard bölgd ortaya konan yni v n son glişmlr ortaya konulacaktır.. Matryal v Mtot.1. İnfrard Ddktörlr.1.1.İnfrard Radyasyon Latin ön ki infra aşağıda (altında) anlamına glir. Böylc infrard klimsi is lktromagntik spktrumda, görünür bölgnin sonunda, kırmızı rngin altındaki bölgdn bahsdr.

3 57 AYDIN, SUFEFD, (015), 41: İnfrard (IR) radyasyon, günş ışığı, X ışınları v radyo dalgaları gibi, kstra yüksk frkans (EHF) radyo bandı ( 1000m) v görünür ışık ( 0.75m) arasında, bir dalga boyu aralığına sahip lktromagntik bir radyasyondur. Şkil 1 d lktromagntik spktrum göstrilmktdir (Donati, 000). Frkans (Hz) Gama ışınları X- ışınları UV Görünür bölg İnfrard (IR) Radyo A Dalgaboyu mm Şkil 1. Elktromagntik spktrum.1.. İnfrard Ddktörlrin Kısa Bir Tarihçsi İnfrard ddktörlrin glişimi için özt bir kronoloji aşağıda vrilmiştir: 1917: Cas, ilk foton ddktör olan thallous sülfür ddktörünü gliştirdi : Askri ihtiyaçlar için Kurşun sülfür (PbS) ddktörlr, Northwstrn Ünivrsitsind Robrt Cashman tarafından gliştirildi. Bu ddktörlr, 1,3 3m aralıklı dalga boyu il kısa dalga boylu infrard bölgy (SWIR) duyarlıdır : 5m dalga boylu, orta dalga boylu infrard (MWIR) spktral aralığı algılamak için Indiyum Antimon (InSb) ddktörlr kullanıldı. InSb nin ddktörlrd malzm olarak kullanılmaya başlanmasıyla brabr, infrard ddktörlrin algılayabildiklri dalga boyu aralığı v duyarlılıkları artmıştır : İnfrard ddktör alanındaki bu ilrlmlr bugün ddktörlr için malzm olarak gniş ölçüd kullanılan Civa kadmiyum tllürit (MCT = HgCdT ) nin glişimi il sürdü. HgCdT ddktörlr, 1m dalga boylu gniş dalga boylu infrard (LWIR) bölgyi algılama ytnğin sahiptir (Workman 00).

4 TIS PbS PbS PbT G InSb HgCdT PbSnT Si PtSi InGaAs QWIP An ovrvıw of infrard dtctors : Platinyum silicid (PbSi) ddktörlr, katkılı silisyum ddktörlr v kuantum kuyulu fotoddktörlri içrn LWIR ddktörlr için yni malzmlrin glişimi il infrard (IR) ddktörlrdki glişmlr dvam tmiştir (Hua, 000). Şkil d sözü diln malzmlr için glişim sürci göstrilmktdir: Şkil. İnfrard ddktör malzmlrinin glişiminin kronolojisi.1.3. Ddktör Paramtrlri Bir ddktörün üzrin düşn ışık sinyalini algılaması v bu sinyali bir çıkış işartin dönüştürmsi sürçlrind tkili olan paramtrlr, ddktör paramtrlri dnir. Tablo 1, ddktör paramtrlri, paramtrlrin smbollri, fiziksl formüllri v birimlrini öztlmktdir. Tablo 1. Ddktör vrim paramtrlri PARAMETRE SEMBOL FİZİKSEL FORMÜLÜ BİRİMİ Kuantum vrimi I Ph / I Phh P / 0 h P Ortalama Akım Tpki (Cvap) Gürültü Eşdğri Güç (Nois Equivalnt Powr ) i ort R NEP i ort I R P NEP IA h ph 0 h IA V V N S 0 A A/ W 1/ WHz Sinyal Gürültü Oranı S / N S N P h Zaman Sabiti s Algılayabilirlik (Ddktivit) D D A NEP cmhz W 1/ 1

5 57 AYDIN, SUFEFD, (015), 41: İnfrard Ddktörlrin Uygulama Alanları Tablo d infrard ddktörlrin uygulama alanları öztlnmktdir: Tablo. İnfrard ddktörlrin uygulama alanları ASKERİ ENDÜSTRİYEL TIP BİLİMSEL -Güdümlü füzlr -Atş kontrollri, Yangın -Dniz v hava trafiği kontrollri -Gmi, uçak v kıtalar arası roktlrin v izlnmsi -Uçak çarpışma ikazında (Habr vrmsind ) -Hdflrin bıraktıkları izlri bulma -Arazi, bölg analizi -Zhirli gazların -Yakıt buharı -Kşif lr -Birinin faaliytlrini gizlic izlmlr -Yr altı tsislrinin (olanaklarının) -Kamuflaj (gizlnmnin) -Tlsiz istasyonu korumaları -Düşmana karşı önlmlr -Yangın algılamaları -Ürün hastalıklarının -Frn balatası, akım kablosu, kaynak v lhim çalışmalarının sıcaklık ölçümlri -Hava akımı, türbülans (girdap) algılamaları -Organik kimyasalların analizi -Su kirliliği v kirlnmlr -Kan v alkol sviylri -Isı yalıtımı vrimi -Suç önlmlri -Yakıt atşlm monitörlri -Tarımsal dğrlndirmlr -Otomobil çarpışmalarını önlm -Trafik kontrollri -Körlr için ngl -Dri sıcaklık ölçümlri -Kansrlrin -Hastalık v iyilşmnin gözlnmsi -Yni başlamış flçlrin tşhisi -Nfs v kandaki CO sviysi -Gözl ilgili pupillr çapının ölçümü -Damar tıkanıklığının yrini saptama -Hayvanların gclyin olan(gcy özgü) alışkanlıkları -Kornal bulanıklıklar -Uydu algılamaları -Hava durumlarının uzaktan -Ay, gzgn v yıldız sıcaklıkları -Uzay aracı, uçuş kontrollri -Bitkilrdki ısı transfri -Dünya ısıl bilançosu -Okyanus akışlarını haritalandırma -Dünya öz kaynaklarının inclnmsi -Hastalıklı ürünlrin -Buzul yarıklarının yrlrinin blirlnmsi -Ptrol araştırmaları -Sahtcilik (sahtkârlık) -Orman yangınlarının -Uçak inişlrin yardım tm.. Kuantum Kuyulu Kızılötsi Ddktörlr (QWIPs)..1. Kuantum Kuyular Molkülr dmt pitaksi (MBE) v molkülr organik kimyasal buhar dpozisyon (MOCVD) gibi pitaksiyl büyütm tkniklrindn yararlanarak, farklı band aralığına sahip olan yarıiltknlrin atomik tabakalar halind birbiri ardına büyütülmsi il ld diln yapılar iki boyutlu ya da kuantum kuyu olarak adlandırılmaktadır. Bu yapılar, yarıiltknlrd lktron v dşiklrin büyütm doğrultusunda kuantiz olduğu v diğr iki boyutta srbst olarak harkt dbildiği yapılardır (Choi, 1997).

6 An ovrvıw of infrard dtctors 60 Kuantum kuyu yapılar içrisind üzrind n çok araştırma yapılmış olanı GaAs v Ga 1-x Al x As yarıiltknlrindn oluşan yapıdır (Manasrh, 1993). Ga 1-x Al x As yarıiltknindki Al konsantrasyonu x, 0 il 1 arasında dğişbilir. x dğrinin artması il Ga 1-x Al x As ın band aralığı E g artar. Şkil 3 d, Ga 1-x Al x As- GaAs- Ga 1-x Al x As yarıiltknlrinin üst üst büyültülmsi il oluşmuş olan kuantum kuyusunun yapısı göstrilmktdir. x y Ga 1-x Al x As (a) GaAs Ga 1-x Al x As L z -a 0 a (b) V z Şkil 3. Ga 1-x Al x As- GaAs- Ga 1-x Al x As kuantum kuyusu yapısının şmatik olarak göstrimi. (a) Çok inc, dar band aralıklı bir GaAs tabakası, iki kalın v daha gniş band aralıklı Al x Ga 1-x As tabakaları arasına sandviçlnmiştir. (b) Elktronlar sonlu bir kar kuyu potansiyli il inc GaAs tabakasında tuzaklanmaktadır. GaAs tabakasındaki lktronların harktlri, sonlu bir potansiyl kuyusunda sınırlanmıştır. İltim bandının knarları lktronlar için, valans bandının knarları dşiklr için bir potansiyl kuyusu oluşturmaktadır. GaAs ın band aralığı Ga 1-x Al x As ın band aralığından daha küçüktür. Bu ndnl, GaAs bir kuantum kuyusu gibi davranır v Ga 1-x Al x As lktron v dşiklrin hr ikisi içind bir potansiyl ngl oluşturur. GaAs v Ga 1-x Al x As yarıiltknlrinin band yapılarındaki bu farklılıktan dolayı, sistmin band diyagramında, iltim v valans bandı knarları arasındaki gçiş bölgsind basamak şklind sürksizliklr oluşmaktadır (Liu, 1999). Kuantum kuyu yarıiltkn yapılar, büyütüln tabakanın sayısına, kalınlığına v büyütüln yapıların özlliklrin gör, tkli/çoklu kuantum kuyuları ya da süprörgülr olarak adlandırılırlar. Tkli kuantum kuyu yapıların ard arda büyütülmsi il çoklu kuantum kuyusu yapıları ld dilmktdir. Çoklu kuantum kuyu yapılarında, potansiyl bariyrinin gnişliği, kuyu gnişliğindn daha büyüktür. Süprörgülr d is, bariyr gnişliği kuantum kuyularına gör daha dar olduğundan, yüklü parçacıklar bir kuyudan diğr kuyuya tünllnbilmktdir, yani kuantum kuyusu içrisindki lktron v dşiklrin dalga fonksiyonlarının kuyrukları inc bariyrlri rahatlıkla aşabilmkt v komşu kuyulara ulaşabilmktdir (Erol, 1997). Kuantum kuyularındaki lktron v dşiklrin nrji sviylri, Hamiltonyn yaklaşımı il hsaplanabilmktdir. Şkil 3 d göstriln kuantum kuyusu için, kuantum kuyusunun gnişliği L z nin diğr boyutlardan (L x v L y ) çok küçük olması ndniyl, Hamiltonyn opratöründ şu yaklaşım yapılabilmktdir: H toplam H H (1) xy z

7 57 AYDIN, SUFEFD, (015), 41: H xy, iki boyutlu lktron gazı için tk parçacık Hamiltoniyni v H z tk boyutlu sonlu potansiyl kuyusu için Hamiltoniyndir. İnc GaAs tabakasındaki bir lktron (vya dşik) nrjisi, Hamiltoniyn opratörünün özdğrlri il vya E( k E( k x x, k, k y y, k z k ), n) E n z * m ( k x ( k m x m k * k * y ) y ) () (3) biçimind vrilmktdir. Burada E * n k z m nrjisi, potansiyl kuyusundaki n. nrji * sviysin karşılık gln lktronun nrjisidir. m lktronun tkin kütlsidir. Planck sabiti, k x v k y kristal momntumunun x v y bilşnidir. n. sviyy karşılık gln dşik nrjilri d E 000). * n k z m d ifadsi il vrilmktdir. Bu ifaddki... Kuantum Kuyulu Kızılötsi Ddktörlr m dşiğin tkin kütlsidir (Liu v Capasso, Şkil 4a da görüldüğü gibi kızıl ötsi radyasyon pn klmlri kullanılarak algılanabilir. Bu tür ddktörlr çok küçük akımlar altında çalışabilmktdir. 3-5 m v 8-1 m aralıklarında algılama yapan ddktörlrd kullanılan düşük nrji band aralıklı yarıiltknlrin büyütm v işlm tknolojilri Si v GaAs tknolojilrin gör daha az glişmiştir. Bu malzmlrin birçoğunda gniş alanlı taban malzmsi tmini v gniş alanda homojn olarak büyütülmm sorunları vardır. Yakın bir zaman önc önriln bir yaklaşımda, gniş nrji band aralıklı yarıiltknin daha düşük band aralıklı bir yarıiltknl birlştirilmsiyl oluşturulan kuantum kuyuları kullanılmaktadır. Şkil 4b d görüln bu tür bir yapıyla algılama prnsibi radyasyonla tkilşim sonucu, kuantiz sviydki lktronun srbst iltim bandına aktarılması v iltim katılarak ddktör akımını arttırmasına dayanır. Bu tür bir ddktör yapısı Kuantum Kuyu Kızılötsi Fotoddktör (QWIP) olarak adlandırılmaktadır (Bşikci v ark., 00). Böylc 3-5 m v 8-1 m ddktörlri, sorunlu düşük band aralıklı yarıiltknlr yrin GaAs tknolojisi kullanılarak ürtmk v gniş alanda mükmml homojnlik sağlamak mümkün olmaktadır. Tipik bir kuantum kuyulu kızılötsi fotoddktör, 50 adt kuantum kuyusu içrmktdir. Bu ddktörlrin duyarlı oldukları dalga boyu aralığı kuantum kuyusu gnişliği v malzm kompozisyonu dğiştirilrk kolaylıkla ayarlanabilir. * d IR Radyasyon IR Radyasyon n E E 1 h p AlGaAs GaAs AlGaAs (a) (b) Şkil 4. pn snsör v QWIP algılama prnsiplri

8 An ovrvıw of infrard dtctors 6 İnfrard ddktörlrin uzun gçmişin rağmn kuantum kuyu kızılötsi fotoddktörlr (QWIP) son zamanlarda ortaya konulmuş yni bir tknolojidir. QWIP lr iltim bandı (n-tipi) ya da valans bandı (p-tipi) içind altbandlararası soğurmaya dayanan bir yarıiltkn infrard foton ddktörüdür. İnfrard radyasyonun için, kuantum kuyuların kullanılması fikri ilk kz 1977 yılında Esaki v Sakaki tarafından ortaya atılmıştır v kuantum mkaniğinin tml prnsiplri kullanılarak izah dilbilmiştir. 8 yıl sonra Wst v Englash, ilk kz çoklu kuantum yapılardaki, güçlü altbandlararası soğurmanın dnysl gözlnimini yapmışlardır yılında altbandlararası soğurmaya dayanan ilk QWIP, Lvin v arkadaşları tarafından yapılmıştır. O zamandan bri QWIP tknolojisi sürkli olarak glişmktdir (Gunapala v Bandara, 1999). Kuantum kuyulu kızılötsi ddktörlr, gniş band aralıklı malzmlrdn yapılan kuantum kuyularından ürtilirlr. QWIP lrdki lktron uyarılmaları, orta dalga boylu infrard radyasyon (MWIR) vya uzun dalga boylu infrard radyasyon (LWIR) bölglrind altbandlararası soğurma yapan kuantum kuyudaki, iltim (vya valans) bandındaki taban durum v uyarılmış durum arasında mydana glir (Şkil 5). İltim Bandı (n katkılı) E C E E h E g (kuyu) E g (bariyr) H Valans Bandı (p katkılı) E V H h Şkil 5. Bir kuantum kuyunun, valans bandı (H 1 dn H y) yada iltim bandı (E 1 dn E y) içind mydana gln altbandarası soğurmanın şmatik göstrimi Kuantum kuyu yapıları, bu fotouyarılmış taşıyıcıların kuantum kuyudan kurtulabilmsi v fotoakım olarak toplanabilmsini sağlayacak şkild tasarlanırlar. Kuyu v bariyr malzmsinin uygun sçilmsi il, QWIP lrin algılama dalga boyu MWIR dan LWIR na kadar hrhangi bir dalga boyuna uyarlanabilir (Hoff, 1996). 3. Sonuç İnfrard ddktörlrin glişimi, 1800 yılında Hrschl tarafından infrrd radyasyonun kşfi il başladı v sürkli olarak glişrk dvam tti. İkinci dünya savaşı yılları modrn infrard tknolojinin başlangıcı olarak görülür. Bu dönmd infrard tknolojisi, yarıiltkn malzm bilimiyl birlşti. Soğuk savaş hazırlıklarının hızı, gçn yüzyılın bir bölümünd IR tknolojisind olağanüstü glişmlr ndn oldu.

9 57 AYDIN, SUFEFD, (015), 41: İnfrard ddktörlrd yarıiltkn malzmlrin kullanılmasıyla birlikt dğişik ddktör yapıları gliştirilmiştir. Bu ddktör yapıları, saf (doğal) infrard ddktörlr, katkılı infrard ddktörlr v Schottky-bariyr ddktörlrdir. İnfrard radyasyonun için 1977 yılında Esaki v Sakaki tarafından infrard ddktörlrd kuantum kuyuların kullanılması fikri ortaya atılmıştır. Yakın zaman önc önriln bu yaklaşımda, gniş band aralıklı yarıiltkn malzmnin daha düşük band aralıklı malzmyl birlştirilmsiyl ld diln kuantum kuyuları kullanılmaktadır. Bu tür bir ddktör yapısı Kuantum Kuyu Kızılötsi Ddktör (QWIP) olarak adlandırılır. Kuantum kuyu kızılötsi ddktör tknolojisi yni bir tknolojidir v günümüzd QWIP lr, infrard tknolojinin ana konusunu tşkil tmktdir (Rogalski 000; Rogalski 003; Sngupta 1997). Bu çalışmada infrard ddktörlrl ilgili bir litratür araştırması yapılmıştır. Yapılan bu araştırmalar kapsamında, günümüzd infrard ddktörlr, trmal görüntülm sistmlrinin kalbi durumunda oldukları için, trmal görüntülmd kullanılacak ddktörün, kızılötsi (infrard) bölg içind algılama yapan bir infrard ddktör olmasına karar vrilmiştir. Günümüzd kızılötsi band içind algılama yapan ddktörlrin ürtimind farklı v oldukça özllikli malzmlr kullanılmaktadır. Bu ndnl kızılötsi ddktörün yapımında yni bir tknoloji olan kuantum kuyulu infrard ddktör (QWIP) tknolojisinin malzm olarak kullanılması düşünülmüştür. Açıklama Bu çalışma Slçuk Ünivrsitsi Fizik bölümünd Raşit Aydın tarafından hazırlanan yüksk lisans tzinin bir bölümüdür. Kaynaklar Bşikci C, Cllk OO, Özr S, Tümkaya Ü, Aşıcı B v Bostancı U (00). Soğutmalı Kızılötsi Ddktör Tknolojilri. Savunma Tknolojilri Kongrsi. Choi KK, (1997). Th Physics of Quantum Wll Infrard Photodtctors. World Scintific Publishing Co. Pt. Ltd. U.S.A. Donati S (000). Photodtctors: Dvics, Circuits and Applications. Prntic-Hall, Inc. English. Erol A (1997). Düşük Boyutlu Yarıiltkn Yapılarda Optik Olaylar. Yüksk lisans tzi. İstanbul Ünivrsitsi. Gunapala SD and Bandara SV (1999). Quantum Wll Infrard Photodtctor Focal Plan Arrays. Smiconductors and Smimtals, Vol. 6. Hoff JR (1996). Quatrnary Ga 1-x In x As y P 1-y p-typ Quantum Wll Intrsubband Photodtctors. Northwstrn Univrsity. Hua Yang MS (000). Full Bandstructur Modling of Quantum Wll Infrard Photodtctors. Th Univrsity of Txas. Lvin BF (1993). Quantum Wll Infrard Photodtctors. J. Appl. Phys. 74(8). Liu HC (1999). Quantum Wll Infrard Photodtctor Physics and Novl Dvics. Smiconductors and Smimtals Vol. 6. Liu HC and Capasso F (000). Intrsubband Transitions in Quantum Wlls: Physics and Dvic Applications I. Acadmic Prss. U.S.A. Manasrh MO (1993). Smiconductor Quantum Wlls and Suprlattics for Long Wavlngth Infrard Dtctors. Artch Hous, Inc., Boston. London. Razghi M (1996). Long Wavlngth Infrard Dtctors, Gordon and Brach Publishrs. Canada. Rogalski A and Piotrowski J (1988). Intrinsic Infrard Dtctors. Progrs in Quantum Elctronics 1, Rogalski A (000). Infrard Dtctors. Gordon and Brach Scinc Publishrs. Canada. Rogalski A (00). Infrard Dtctors. An Ovrviw. Infrard Physics & Tchnology 43, Rogalski A and Chrzanowski K (00). Infrard Dvics and Tchniqus. Opto-Elctronics Rviw 10(), Rogalski A (003). Infrard Dtctors: Status and Trnds. Progrs in Quantum Elctronics 7, Sngupta DK (1997). III-V Multipl Quantum Wll Long Wavlngth Infrard Photodtctors. Univrsity of Illinois. Workman CL (00). Intrsubband Transitions in Straind InGaAs Quantum Wlls for Multi Color Infrard Dtctor Applications. Univrsity of Arkansas.

10 An ovrvıw of infrard dtctors 64 SELÇUK ÜNİVERİSTESİ BİLİMSEL DERGİLER KOORDİNATÖRLÜĞÜ SELCUK UNIVERSITY COORDINATION UNIT OF SCIENTIFIC JOURNALS 015 Rproduction is fr for scintific studis